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Ferroelectric and piezoelectric properties of epitaxial PZT films and devices on silicon

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(39) &KDSWHU. . ͳǤͳ ‘–‹˜ƒ–‹‘ dŽ ŝŶĐƌĞĂƐĞ ƚŚĞ ŶƵŵďĞƌ ŽĨ ĂƉƉůŝĐĂƚŝŽŶƐ͕ ďŽƚŚ ƐĞŶƐŝŶŐ ĂŶĚ ĂĐƚƵĂƚŝŽŶ ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ ŵŝĐƌŽĞůĞĐƚƌŽŵĞĐŚĂŶŝĐĂůƐLJƐƚĞŵƐ;DD^ͿĚĞǀŝĐĞƐǁŝƚŚƐŝůŝĐŽŶͲďĂƐĞĚŝŶƚĞŐƌĂƚĞĚĐŝƌĐƵŝƚƐĐĂŶ ďĞ ƐŝŐŶŝĨŝĐĂŶƚůLJ ŝŶĐƌĞĂƐĞĚ ďLJ ŝŶĐŽƌƉŽƌĂƚŝŶŐ ƉŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ΀ϭͲϰ΁͘ ŵŽŶŐ ƉŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƚŚŝŶ Ĩŝůŵ ŵĂƚĞƌŝĂůƐ͕ Wď;ƌ͕dŝͿKϯ ;WdͿ ƚŚŝŶĨŝůŵƐĐĂŶŽĨĨĞƌĂŶĂƚƚƌĂĐƚŝǀĞŽƉƚŝŽŶ ĨŽƌDD^ƚĞĐŚŶŽůŽŐLJĚƵĞƚŽƚŚĞŝƌƐƵƉĞƌŝŽƌĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐĂŶĚƉŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ΀ϱ΁͘ /Ŷ ŽƌĚĞƌ ƚŽ ŝĚĞŶƚŝĨLJ Ă ĨĞĂƐŝďůĞ ǁĂLJ ƚŽ ĨĂďƌŝĐĂƚĞ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ͕ ƐŽŵĞ ĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ƉƌŽĐĞƐƐĞƐ ŚĂǀĞ ďĞĞŶ ƉƌŽƉŽƐĞĚ ƚŽ ĚĞƉŽƐŝƚ Wd ĨŝůŵƐ͘ ƵƌƌĞŶƚůLJ͕ ŵĂŶLJ ƚŚŝŶ Ĩŝůŵ ŵĂŶƵĨĂĐƚƵƌŝŶŐ ƚĞĐŚŶŝƋƵĞƐ ƵƐĞĚ ƚŽ ŽďƚĂŝŶ ŚŝŐŚͲĐƌLJƐƚĂůůŝŶĞ ƋƵĂůŝƚLJ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ͕ ŝŶĐůƵĚŝŶŐ ďŽƚŚ ĐŚĞŵŝĐĂů ĂŶĚ ƉŚLJƐŝĐĂů ƌŽƵƚĞƐ͕ ŚĂǀĞ ďĞĞŶ ƌĞƉŽƌƚĞĚ͘ dŚĞ ƉŚLJƐŝĐĂů ŵĞƚŚŽĚƐ ŝŶĐůƵĚĞ ƐƉƵƚƚĞƌ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ΀ϲͲϴ΁͕ ƉƵůƐĞĚ ůĂƐĞƌ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ;W>Ϳ ΀ϵͲϭϯ΁͕ ĂŶĚ ĞǀĂƉŽƌĂƚŝŽŶ ΀ϭϰ͕ ϭϱ΁͘ ŵŽŶŐƚŚĞĐŚĞŵŝĐĂůŵĞƚŚŽĚƐ͕ƚŚĞƌĞĂƌĞŵĞƚĂůŽƌŐĂŶŝĐĐŚĞŵŝĐĂůǀĂƉŽƌĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ;DKsͿ ΀ϭϲ͕ ϭϳ΁͕ ƉůĂƐŵĂ ĞŶŚĂŶĐĞĚ ĐŚĞŵŝĐĂů ǀĂƉŽƌ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ;WsͿ ΀ϭϴ͕ ϭϵ΁͕ ĂŶĚ ƐŽůͲŐĞů ƉƌŽĐĞƐƐŝŶŐ΀ϮϬͲϮϰ΁͘ KǀĞƌƚŚĞƉĂƐƚĨĞǁLJĞĂƌƐ͕ƚŚĞW>ƚĞĐŚŶŝƋƵĞŝƐŽŶĞŽĨƚŚĞŵŽƐƚƉŽƉƵůĂƌĂŶĚǀĞƌƐĂƚŝůĞĨŽƌ ƚŚĞ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ŽĨ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ΀ϭϭ͕ Ϯϱ΁͘ /Ŷ ĐŽŵƉĂƌŝƐŽŶ ǁŝƚŚ ŽƚŚĞƌ ĐŽŵŵŽŶ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ƚĞĐŚŶŝƋƵĞƐ͕ ƚŚĞ W> ƚĞĐŚŶŝƋƵĞ ŽĨĨĞƌƐ ƐŽŵĞ ĂĚǀĂŶƚĂŐĞƐ͘ DŽƐƚ ŝŵƉŽƌƚĂŶƚ ŝƐ ŝƚƐ ĂďŝůŝƚLJ ƚŽ ƚƌĂŶƐĨĞƌŵĂƚĞƌŝĂůƐƚŽŝĐŚŝŽŵĞƚƌŝĐĂůůLJĨƌŽŵĂŵƵůƚŝĐŽŵƉŽŶĞŶƚƚĂƌŐĞƚƚŽĂŐƌŽǁŝŶŐĨŝůŵ͘dŚŝƐŝƐ ǀĞƌLJŝŵƉŽƌƚĂŶƚĨŽƌĐŽŵƉůĞdžŽdžŝĚĞƐƐƵĐŚĂƐWd͕ďĞĐĂƵƐĞƚŚĞŝƌƉŚLJƐŝĐĂůƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐƐƚƌŽŶŐůLJ ĚĞƉĞŶĚŽŶƚŚĞƉƌĞĐŝƐĞĐŽŶƚƌŽůŽĨƚŚĞĐŚĞŵŝĐĂůĐŽŵƉŽƐŝƚŝŽŶ΀Ϯϲ΁͘^ĞĐŽŶĚ͕W>ŝƐĂƉƌŽŵŝƐŝŶŐ ƚĞĐŚŶŝƋƵĞ ĨŽƌ ƚŚŝĐŬ Ĩŝůŵ ĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ďĞĐĂƵƐĞ ŝƚ ŽĨĨĞƌƐ ƚŚĞ ĂĚǀĂŶƚĂŐĞ ŽĨ Ă ŚŝŐŚ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ƌĂƚĞ͘ ĞĐĂƵƐĞ ŽĨ ŚŝŐŚ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ƌĂƚĞ ŝŶ Ă ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ƉƵůƐĞ͕ ƚŚĞ ŵĂƐƐ ƚƌĂŶƐĨĞƌ ĨƌŽŵ ƚŚĞ ĂďůĂƚŝŽŶ ƉůƵŵĞ ƚŽ ƐŽůŝĚ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŝƐ ŝŵƉƌŽǀĞĚ͘ dŚĞƌĞĨŽƌĞ͕ W> ĂůůŽǁƐ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ Ăƚ ŚŝŐŚ ŐƌŽǁƚŚƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞ͕ĞƐƉĞĐŝĂůůLJĨŽƌĞƉŝƚĂdžŝĂůŐƌŽǁƚŚŽĨǀŽůĂƚŝůĞŵĂƚĞƌŝĂůƐ͘/ŶĐĂƐĞŽĨWdƚŚŝŶ ĨŝůŵĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ͕ŝƚƌĞƐƵůƚƐŝŶĂůĞƐƐƐŝŐŶŝĨŝĐĂŶƚůŽƐƐŽĨƚŚĞŵŽƌĞǀŽůĂƚŝůĞĞůĞŵĞŶƚƐ͕ůŝŬĞůĞĂĚ;WďͿ͘ /ƚ ŝƐ ǁŽƌƚŚ ŶŽƚŝŶŐ ƚŚĂƚ ƚŚĞ ĐƌLJƐƚĂůůŝŶĞ ƋƵĂůŝƚLJ ŽĨ ƚŚĞ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ Ĩŝůŵ ŝƐ ĂŶ ŝŵƉŽƌƚĂŶƚ ĨĂĐƚŽƌ͘ ƉŝƚĂdžŝĂů Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ƐŚŽǁŝŶŐ ŚŝŐŚ ĐƌLJƐƚĂůůŝŶĞ ƋƵĂůŝƚLJ ĚŝƐƉůĂLJ ďĞƚƚĞƌ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĂŶĚ ƉŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ƚŚĂŶ ƉŽůLJĐƌLJƐƚĂůůŝŶĞ ĨŝůŵƐ ΀Ϯϳ΁͕ ĂŶĚ ƚŚĞ ůĞĂŬĂŐĞ ĐƵƌƌĞŶƚƐ ĂƌĞ ĞdžƉĞĐƚĞĚƚŽďĞůŽǁĞƌƚŚĂŶƚŚŽƐĞŽĨƉŽůLJĐƌLJƐƚĂůůŝŶĞĨŝůŵƐ΀ϮϴͲϯϬ΁͘dŚĞƌĞŝƐĂǀĂƐƚĂŵŽƵŶƚŽĨ ƌĞƐĞĂƌĐŚ ƉƌĞƐĞŶƚŝŶŐ ƚŚĞ ĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ŽĨ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ďLJ W>͘ ,ŽǁĞǀĞƌ͕ ŵŽƐƚ ŽĨ ƚŚĞƐĞ ƐƚƵĚŝĞƐ ĂƌĞ ŽŶ ƐŝŶŐůĞͲĐƌLJƐƚĂů ŽdžŝĚĞ ƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ ůŝŬĞ ^ƌdŝKϯ ;^dKͿ͕ LJƚƚƌŝĂͲƐƚĂďŝůŝnjĞĚ njŝƌĐŽŶŝĂ;z^Ϳ͕>ĂůKϯ;>KͿ͕ĂŶĚDŐK΀ϵͲϭϮ΁͘ &Žƌ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĚĞǀŝĐĞĂƉƉůŝĐĂƚŝŽŶƐ͕ƚŚĞĞƉŝƚĂdžŝĂů ŐƌŽǁƚŚ ŽĨ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƚŚŝŶĨŝůŵƐŽŶ ƐŝůŝĐŽŶƐƵďƐƚƌĂƚĞƐŝƐĐŽŶƐŝĚĞƌĞĚƚŽďĞĂŬĞLJƚĞĐŚŶŽůŽŐLJĨŽƌĨĂďƌŝĐĂƚŝŶŐƚŚŝŶŶĞƌĂŶĚƐŵĂůůĞƌ ĞůĞĐƚƌŽŶŝĐ ĚĞǀŝĐĞƐ ΀Ϯϴ΁͘ /Ŷ ƚŚĞ ƉƌĞƐĞŶƚ ƐƚƵĚLJ͕ / ƉƌĞƐĞŶƚ ƌĞƐƵůƚƐ ŽĨ ĂůůͲĞƉŝƚĂdžŝĂů ^ƌZƵKϯͬWdͬ^ƌZƵKϯ ƚŚŝŶ Ĩŝůŵ ĚĞǀŝĐĞƐ ǁŚŝĐŚ ĨĂďƌŝĐĂƚĞĚ ƵƐŝŶŐ ƚŚĞ W> ƚĞĐŚŶŝƋƵĞ͘ ŽŶĚƵĐƚŝǀĞͲŽdžŝĚĞ ĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ͕ ůŝŬĞ ^ƌZƵKϯ ĂŶĚ >ĂEŝKϯ͕ ĂƌĞ ĞdžƉĞĐƚĞĚ ƚŽ ďĞ ĂŶ ŝŵƉŽƌƚĂŶƚ ĐŽŶƐŝĚĞƌĂƚŝŽŶĨŽƌůŽŶŐͲƚĞƌŵƐƚĂďŝůŝƚLJĂŶĚƌĞůŝĂďŝůŝƚLJŽĨƚŚĞWdƚŚŝŶĨŝůŵĚĞǀŝĐĞƐ΀ϯϭͲϯϰ΁͘. . .

(40) ,QWURGXFWLRQ. .  ͳǤʹ —–Ž‹‡‘ˆ–Š‡•‹• dŚĞ Ăŝŵ ŽĨ ƚŚĞ ƐƚƵĚLJ ĚĞƐĐƌŝďĞĚ ŝŶ ƚŚŝƐ ƚŚĞƐŝƐ ŝƐ ĨŽĐƵƐĞĚ ŽŶ ƚŚĞ ĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ĂŶĚ ĐŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĂƚŝŽŶ ŽĨ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wd Ĩŝůŵ ĚĞǀŝĐĞƐ͘ dŚŝƐ ƚŚĞƐŝƐ ĐŽŶƐŝƐƚƐ ŽĨ ƐĞǀĞŶ ĐŚĂƉƚĞƌƐ͘ /Ŷ ĐŚĂƉƚĞƌ ϭ͕ Ă ďƌŝĞĨ ŝŶƚƌŽĚƵĐƚŝŽŶ ŽŶ ƚŚĞ W> ƚĞĐŚŶŝƋƵĞ ĂŶĚ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŝƐ ƉƌĞƐĞŶƚĞĚ͘ŚĂƉƚĞƌϮŝŶƚƌŽĚƵĐĞƐƚŚĞĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶŽĨƐŝůŝĐŽŶͲďĂƐĞĚWdƚŚŝŶĨŝůŵƐďLJƚŚĞW>͘ Ɛ ŵĞŶƚŝŽŶĞĚ ďĞĨŽƌĞ͕ ƚŚĞ ĐŚŽŝĐĞ ŽĨ ƚŚŝƐ ƚĞĐŚŶŝƋƵĞ ŝƐ ďĂƐĞĚ ŽŶ ƚŚĞ ƌĞƋƵŝƌĞĚ ĞƉŝƚĂdžŝĂů ŐƌŽǁƚŚŽĨĂůůŽdžŝĚĞůĂLJĞƌƐ͘ /ŶŽƌĚĞƌƚŽĐŽŶƚƌŽůƚŚĞŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶŽĨĞƉŝƚĂdžŝĂůWdƚŚŝŶĨŝůŵƐŐƌŽǁŶŽŶ^ŝƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ͕Ă ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ƉƌŽĐĞĚƵƌĞ ŚĂƐ ďĞĞŶ ĚĞǀĞůŽƉĞĚ ĨŽƌ ďŽƚŚ ďƵĨĨĞƌͲůĂLJĞƌ;ƐͿ ĂŶĚ ďŽƚƚŽŵͲĞůĞĐƚƌŽĚĞ͘ ŚĂƉƚĞƌϯĚĞƐĐƌŝďĞƐƚŚĞĐŽŶƚƌŽůŽĨƚŚŝŶĨŝůŵŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶĂƐǁĞůůĂƐƚŚĞŽƉƚŝŵŝnjĂƚŝŽŶƉƌŽĐĞƐƐ ĨŽƌ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŐƌŽǁŶ ŽŶ ^ŝ ƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ͘ &ƵƌƚŚĞƌŵŽƌĞ͕ ƚŚĞ ĞĨĨĞĐƚƐ ŽĨ ƌĞƐŝĚƵĂů ƐƚƌĞƐƐ͕ ĐĂƵƐĞĚ ďLJ ƚŚĞ ƐƵďƐƚƌĂƚĞͬĨŝůŵ ƚŚĞƌŵĂů ĞdžƉĂŶƐŝŽŶ ŵŝƐŵĂƚĐŚĞƐ͕ ŽŶ ƚŚĞ ĐƌLJƐƚĂů ĂŶĚ ĚŽŵĂŝŶ ŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶƐŽĨƚŚĞWdƚŚŝŶĨŝůŵƐĂƌĞĂůƐŽŝŶǀĞƐƚŝŐĂƚĞĚ͘ /Ŷ ĐŚĂƉƚĞƌ ϰ͕ ƚŚĞ ŝŶĨůƵĞŶĐĞ ŽĨ ĐŽŶĚƵĐƚŝǀĞͲŽdžŝĚĞ ĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ ǁŝƚŚ Ă ƉĞƌŽǀƐŬŝƚĞ ƐƚƌƵĐƚƵƌĞ ƐƵĐŚ ĂƐ ^ƌZƵKϯ ;^ZKͿ ŽŶ ƚŚĞ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ ;ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ĨĂƚŝŐƵĞͿ ƉƌŽĐĞƐƐ ŝƐ ĂůƐŽ ĚŝƐĐƵƐƐĞĚ͘ dŚĞ ďĞŚĂǀŝŽƌ ŽĨ ƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ƐǁŝƚĐŚŝŶŐ͕ ĚƵĞ ƚŽ ƚǁŝŶͲƌĞůĂƚĞĚ ĚŽŵĂŝŶƐ ĂŶĚ ŝŶͲ ƉůĂŶĞƐƚƌƵĐƚƵƌĂůĐŽŚĞƌĞŶĐĞŝŶƚŚĞ;ϭϭϬͿͲĂŶĚ;ϬϬϭͿͲŽƌŝĞŶƚĞĚWdƚŚŝŶĨŝůŵƐŽŶ^ŝƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ͕ ƌĞƐƉĞĐƚŝǀĞůLJ͕ŝƐƐƚƵĚŝĞĚ͘dŚĞƌŵĂůƌĞƐŝĚƵĂůƐƚƌĞƐƐŝŶWdƚŚŝŶĨŝůŵƐŝŶĚƵĐĞĚďLJƚŚĞĚŝĨĨĞƌĞŶĐĞ ŽĨƚŚĞƌŵĂůĞdžƉĂŶƐŝŽŶďĞƚǁĞĞŶĨŝůŵĂŶĚƐƵďƐƚƌĂƚĞŝƐĐƌƵĐŝĂůĨŽƌƚŚĞĚŽŵĂŝŶŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶĂŶĚ ƚŚĞƌĞĨŽƌĞ͕ŝƚƐĞĨĨĞĐƚŽŶƚŚĞĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐĂŶĚƉŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐĂƌĞĚŝƐĐƵƐƐĞĚ͘ /Ŷ ĐŚĂƉƚĞƌ ϱ ǁĞ ƌĞƉŽƌƚ ƚŚĞ ĞĨĨĞĐƚ ŽĨ Ĩŝůŵ ƚŚŝĐŬŶĞƐƐ ŽŶ ƚŚĞ ƐƚƌƵĐƚƵƌĞ ĂŶĚ ĞůĞĐƚƌŝĐĂů ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ Wd ĨŝůŵƐ͘ dŚĞ ĐŽŶƚƌŝďƵƚŝŽŶƐ ŽĨ ŝŶƚĞƌĨĂĐŝĂů ůĂLJĞƌƐ ďĞƚǁĞĞŶ Wd ĨŝůŵƐ ĂŶĚ ĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ͕ ĂŶĚ ƌĞƐŝĚƵĂů ƐƚƌĞƐƐ ďĞƚǁĞĞŶ Wd ĨŝůŵƐ ĂŶĚ ƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ ŽŶ ƚŚĞ ĞůĞĐƚƌŝĐĂů ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐĂƌĞŝŶǀĞƐƚŝŐĂƚĞĚ͘DŽƌĞŽǀĞƌ͕ƚŚĞWdƚŚŝŶĨŝůŵƐǁŝƚŚǀĂƌŝŽƵƐĐŽŵƉŽƐŝƚŝŽŶƐ;ƌͬdŝ ƌĂƚŝŽƐ͗ϲϬͬϰϬ͕ϱϮͬϰϴ͕ϰϬͬϲϬĂŶĚϮϬͬϴϬͿĂƌĞĂůƐŽƐƚƵĚŝĞĚ͘dŚĞĚĂƚĂ͕ŽďƚĂŝŶĞĚďLJƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶ ĂŶĚ ĚŝĞůĞĐƚƌŝĐ ĐŽŶƐƚĂŶƚ ŵĞĂƐƵƌĞŵĞŶƚƐ͕ ƌĞǀĞĂůƐ ƚŚĞ Wd ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ĂƌĞ ƐƚƌŽŶŐůLJ ĚĞƉĞŶĚĞŶƚ ŽŶƚŚĞŝƌĐŽŵƉŽƵŶĚƐ͘ /Ŷ ĐŚĂƉƚĞƌ ϲ͕ ďĂƐĞĚ ŽŶ ƚŚĞ ƌĞƐƵůƚƐ ĨŽƵŶĚ ŝŶ ĐŚĂƉƚĞƌ ϱ͕ ǁĞ ĚĞƐĐƌŝďĞ ƚŚĞ ĞĨĨĞĐƚƐ ŽĨ ƚŚĞ ĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ĐŚĂƌĂĐƚĞƌŝƐƚŝĐƐ ŽĨ Wd ĨŝůŵƐ͕ ƐƵĐŚ ĂƐ Ĩŝůŵ ƚŚŝĐŬŶĞƐƐ͕ ƌͬdŝ ĐŽŵƉŽƐŝƚŝŽŶ ĂŶĚ ƚŚĞƌŵĂůƌĞƐŝĚƵĂůƐƚƌĞƐƐ͕ŽŶƚŚĞƉŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐĐŽĞĨĨŝĐŝĞŶƚƐ͘dŚĞŵĂŝŶƉƵƌƉŽƐĞŽĨƚŚŝƐƐƚƵĚLJŝƐ ƚŽĚŝƐĐƌŝŵŝŶĂƚĞƚŚĞĐŽŶƚƌŝďƵƚŝŽŶŽĨĚŽŵĂŝŶͲǁĂůůŵŽƚŝŽŶ;ĞdžƚƌŝŶƐŝĐĐŽŶƚƌŝďƵƚŝŽŶͿĂŶĚůĂƚƚŝĐĞ ǀĂƌŝĂƚŝŽŶ ;ŝŶƚƌŝŶƐŝĐ ĐŽŶƚƌŝďƵƚŝŽŶͿ ŽŶ ƚŚĞ Ěϯϯ ĐŽĞĨĨŝĐŝĞŶƚ͘ &ƵƌƚŚĞƌŵŽƌĞ͕ ĞůĞŵĞŶƚĂů ĨĂĐƚŽƌƐ ĂĨĨĞĐƚŝŶŐƚŚĞĚϯϯĐŽĞĨĨŝĐŝĞŶƚ͕ůŝŬĞƉŽůĂƌŝnjĂƚŝŽŶĂŶĚĚŝĞůĞĐƚƌŝĐĐŽŶƐƚĂŶƚ͕ĂƌĞĂŶĂůLJnjĞĚďĂƐĞĚŽŶ ĂƐĞŵŝͲĞŵƉŝƌŝĐĂůĞƋƵĂƚŝŽŶ͘ dŚĞ ĚĞƐŝŐŶ ĂŶĚ ĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ŽĨ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wd ĨŝůŵƐ ŝŶƚĞŐƌĂƚĞĚ ŽŶƚŽ ^ŝ ĐĂŶƚŝůĞǀĞƌ ďĞĂŵƐ ƚŚƌŽƵŐŚ ƚŚĞ W> ƚĞĐŚŶŝƋƵĞ ĂŶĚ DD^ ŵŝĐƌŽͲĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ƉƌŽĐĞƐƐ ŝƐ ƉƌĞƐĞŶƚĞĚ ŝŶ ĐŚĂƉƚĞƌ ϳ͘ dŚĞ ĐĂŶƚŝůĞǀĞƌ ƉĞƌĨŽƌŵĂŶĐĞ ǁĂƐ ĐŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĞĚ ďLJ ǁŚŝƚĞͲůŝŐŚƚ ŝŶƚĞƌĨĞƌŽŵĞƚĞƌ ĂŶĚ ĨŽƌ ĐŽŵƉĂƌŝƐŽŶ͕ĂĨŝŶŝƚĞĞůĞŵĞŶƚĂŶĂůLJƐŝƐ;&ͿƐŝŵƵůĂƚŝŽŶĂŶĚĂĐĂůĐƵůĂƚŝŽŶŵĞƚŚŽĚǁĞƌĞĐĂƌƌŝĞĚ. . .

(41) &KDSWHU. . ŽƵƚ͘ &ŝŶĂůůLJ͕ ƚŚĞ ĚĞƉĞŶĚĞŶĐĞƐ ŽĨ ƚŚĞ ĐĂŶƚŝůĞǀĞƌ ĚŝƐƉůĂĐĞŵĞŶƚ͕ ƌĞƐŽŶĂŶĐĞ ĨƌĞƋƵĞŶĐLJ ĂŶĚ ƋƵĂůŝƚLJ ĨĂĐƚŽƌ ;YͲĨĂĐƚŽƌͿ ŽŶ ƚŚĞ ĐĂŶƚŝůĞǀĞƌ ŐĞŽŵĞƚƌLJ ;ůĞŶŐƚŚ͕ ǁŝĚƚŚ ĂŶĚ Ĩŝůŵ ƚŚŝĐŬŶĞƐƐͿ ĂƌĞ ŝŶǀĞƐƚŝŐĂƚĞĚ͘ ƚƚŚĞĞŶĚŽĨƚŚŝƐƚŚĞƐŝƐ͕ĂƐƵŵŵĂƌLJŝƐŐŝǀĞŶ͘  . ͳǤ͵ ‡ˆ‡”‡ ‡•  ϭ͘. W͘ DƵƌĂůƚ͕ &ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ĨŽƌ ŵŝĐƌŽͲƐĞŶƐŽƌƐ ĂŶĚ ĂĐƚƵĂƚŽƌƐ͗ Ă ƌĞǀŝĞǁ͕ :͘ DŝĐƌŽŵĞĐŚ͘ DŝĐƌŽĞŶŐ͘ϭϬ;ϮϬϬϬͿƉ͘ϭϯϲͲϭϰϲ͘. Ϯ͘. ^͘ dƌŽůŝĞƌͲDĐ<ŝŶƐƚƌLJ ĂŶĚ W͘ DƵƌĂůƚ͕ dŚŝŶ &ŝůŵ WŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐƐ ĨŽƌ DD^͕ :͘ ůĞĐƚƌŽĐĞƌĂŵ͘ ϭϮ ;ϮϬϬϰͿƉ͘ϳͲϭϳ͘. ϯ͘. Z͘ ͘ ŽƌĞLJ ĂŶĚ Z͘ t͘ tŚĂƚŵŽƌĞ͕ ůĞĐƚƌŽĐĞƌĂŵŝĐ dŚŝĐŬ &ŝůŵ &ĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ĨŽƌ DD^͕ :͘ ůĞĐƚƌŽĐĞƌĂŵ͘ϭϮ;ϮϬϬϰͿƉ͘ϭϵͲϯϮ͘. ϰ͘. :͘ĂďŽƌŽǁƐŬŝ͕DŝĐƌŽĨĂďƌŝĐĂƚŝŽŶŽĨWŝĞnjŽĞůĞĐƚƌŝĐDD^͕:͘ůĞĐƚƌŽĐĞƌĂŵ͘ϭϮ;ϮϬϬϰͿƉ͘ϯϯͲϱϭ͘. ϱ͘. :͘&͘^ĐŽƚƚĂŶĚ͘͘WĂnjĚĞƌĂƵũŽ͕&ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐDĞŵŽƌŝĞƐ͕^ĐŝĞŶĐĞϮϰϲ;ϭϵϴϵͿƉ͘ϭϰϬϬͲϭϰϬϱ͘. ϲ͘. d͘,ĂƚĂ͕^͘<ĂǁĂŐŽĞ͕t͘ŚĂŶŐ͕<͘^ĂƐĂŬŝ͕ĂŶĚz͘zŽƐŚŝŽŬĂ͕WƌŽƉŽƐĂůŽĨŶĞǁŵŝdžƚƵƌĞƚĂƌŐĞƚĨŽƌ WdƚŚŝŶĨŝůŵƐďLJƌĞĂĐƚŝǀĞƐƉƵƚƚĞƌŝŶŐ͕sĂĐƵƵŵϱϭ;ϭϵϵϴͿƉ͘ϲϲϱͲϲϳϭ͘. ϳ͘. ͘tĂŶŐĂŶĚD͘,͘<ƌLJĚĞƌ͕>Žǁ&ĂƚŝŐƵĞŝŶƉŝƚĂdžŝĂůWď;ƌϬ͘ϮdŝϬ͘ϴͿKϯŽŶ^ŝ^ƵďƐƚƌĂƚĞƐǁŝƚŚ>ĂEŝKϯ ůĞĐƚƌŽĚĞƐďLJZ&^ƉƵƚƚĞƌŝŶŐ͕:͘ůĞĐƚƌŽŶ͘DĂƚĞƌ͘ϯϴ;ϮϬϬϵͿƉ͘ϭϵϮϭͲϭϵϮϱ͘. ϴ͘. Z͘ŽƵƌĞŐďĂ͕E͘^ĂŵĂ͕͘^ŽLJĞƌ͕ĂŶĚ͘ZĞŵŝĞŶƐŶĂůLJƐŝƐŽĨƐŝnjĞĞĨĨĞĐƚƐŝŶWď;ƌϬ͘ϱϰdŝϬ͘ϰϲͿKϯƚŚŝŶ ĨŝůŵĐĂƉĂĐŝƚŽƌƐǁŝƚŚƉůĂƚŝŶƵŵĂŶĚ>ĂEŝKϯĐŽŶĚƵĐƚŝŶŐŽdžŝĚĞĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ͕:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ϭϬϲ;ϮϬϬϵͿ Ɖ͘ϬϰϰϭϬϭ;ϭͲϳͿ͘. ϵ͘. d͘zƵ͕z͘Ͳ&͘ŚĞŶ͕͘Ͳ'͘>ŝƵ͕^͘Ͳ͘yŝŽŶŐ͕>͘^ƵŶ͕y͘Ͳz͘ŚĞŶ͕>͘Ͳ:͘^Śŝ͕ĂŶĚE͘Ͳ͘DŝŶŐ͕ƉŝƚĂdžŝĂů Wď;ƌϬ͘ϱϯdŝϬ͘ϰϳͿKϯͬ>ĂEŝKϯ ŚĞƚĞƌŽƐƚƌƵĐƚƵƌĞƐ ŽŶ ƐŝŶŐůĞ ĐƌLJƐƚĂů ƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ͕ ƉƉů͘ WŚLJƐ͘ >Ğƚƚ͘ ϲϵ ;ϭϵϵϲͿƉ͘ϮϬϵϮͲϮϬϵϰ͘. ϭϬ͘. d͘ DŽƌŝƚĂ͕ z͘ tĂŐĂƚƐƵŵĂ͕ z͘ ŚŽ͕ ,͘ DŽƌŝŽŬĂ͕ ,͘ &ƵŶĂŬƵďŽ͕ ĂŶĚ E͘ ^ĞƚƚĞƌ͕ &ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐŽĨĂŶĞƉŝƚĂdžŝĂůůĞĂĚnjŝƌĐŽŶĂƚĞƚŝƚĂŶĂƚĞƚŚŝŶĨŝůŵĚĞƉŽƐŝƚĞĚďLJĂŚLJĚƌŽƚŚĞƌŵĂůŵĞƚŚŽĚ ďĞůŽǁƚŚĞƵƌŝĞƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞ͕ƉƉů͘WŚLJƐ͘>Ğƚƚ͘ϴϰ;ϮϬϬϰͿƉ͘ϱϬϵϰͲϱϬϵϲ͘. ϭϭ͘. >͘&ĞŝŐů͕^͘:͘ŚĞŶŐ͕͘/͘ŝƌĂũĚĂƌ͕͘:͘ZŽĚƌŝŐƵĞnj͕z͘>͘ŚƵ͕D͘ůĞdžĞ͕ĂŶĚ͘,ĞƐƐĞ͕/ŵƉĂĐƚŽĨ ŚŝŐŚ ŝŶƚĞƌĨĂĐĞ ĚĞŶƐŝƚLJ ŽŶ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ĂŶĚ ƐƚƌƵĐƚƵƌĂů ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ WďƌϬ͘ϮdŝϬ͘ϴKϯͬWďƌϬ͘ϰdŝϬ͘ϲKϯ ĞƉŝƚĂdžŝĂůŵƵůƚŝůĂLJĞƌƐ͕:͘WŚLJƐ͗͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ϰϮ;ϮϬϬϵͿƉ͘ϬϴϱϯϬϱ;ϭͲϲͿ͘. ϭϮ͘. ͘ tĂůŬĞƌ͕ W͘ ͘ dŚŽŵĂƐ͕ ĂŶĚ ^͘ W͘ ŽůůŝŶƐ͕  ĐŽŵƉƌĞŚĞŶƐŝǀĞ ŝŶǀĞƐƚŝŐĂƚŝŽŶ ŽĨ ƚŚĞ ƐƚƌƵĐƚƵƌĂů ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ WďƌϬ͘ϮdŝϬ͘ϴKϯ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŐƌŽǁŶ ďLJ W>͕ ƉŚLJƐŝĐĂ ƐƚĂƚƵƐ ƐŽůŝĚŝ ;ĂͿ ϮϬϲ ;ϮϬϬϵͿƉ͘ϭϳϵϵͲϭϴϬϯ͘. . .

(42) ,QWURGXFWLRQ. .  ϭϯ͘. D͘͘EŐƵLJĞŶ͕Z͘:͘͘^ƚĞĞŶǁĞůůĞ͕W͘D͘ƚĞZŝĞůĞ͕:͘D͘ĞŬŬĞƌƐ͕͘,͘͘ůĂŶŬ͕ĂŶĚ'͘ZŝũŶĚĞƌƐ͕ 'ƌŽǁƚŚ ĂŶĚ ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ ĨƵŶĐƚŝŽŶĂů ŽdžŝĚĞ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ĨŽƌ WŝĞnjŽDD^͕ ŝŶ hZK^E^KZ^ yy//͕ ƌĞƐĚĞŶͲ'ĞƌŵĂŶLJ;ϮϬϬϴͿƉ͘ϴϭϬͲϴϭϯ͘. ϭϰ͘. ͘dŽŬƵŵŝƚƐƵ͕^͘hĞŶŽ͕Z͘Ͳ/͘EĂŬĂŵƵƌĂ͕ĂŶĚ,͘/ƐŚŝǁĂƌĂ͕ŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĂƚŝŽŶŽĨWď;ƌdždŝϭͲdžͿKϯĨŝůŵƐ ƉƌĞƉĂƌĞĚďLJǀĂĐƵƵŵĞǀĂƉŽƌĂƚŝŽŶŵĞƚŚŽĚ͕/ŶƚĞŐƌĂƚĞĚ&ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐƐϳ;ϭϵϵϱͿƉ͘ϮϭϱͲϮϮϯ͘. ϭϱ͘. ͘ Ͳ͘ WĂƌŬ͕ ^͘ ^ŚŽƵƌŝŬŝ͕ ͘ dŽŬƵŵŝƚƐƵ͕ ĂŶĚ ,͘ /ƐŚŝǁĂƌĂ͕ &ĂďƌŝĐĂƚŝŽŶ ŽĨ WďƌdždŝϭͲdžKϯ &ŝůŵƐ ŽŶ ^ŝ ^ƚƌƵĐƚƵƌĞƐhƐŝŶŐzϮKϯƵĨĨĞƌ>ĂLJĞƌƐ͕:ƉŶ͘:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ϯϳ;ϭϵϵϴͿƉ͘ϱϭϰϱͲϱϭϰϵ͘. ϭϲ͘. ͘Ͳz͘WĂŶ͕z͘Ͳ>͘ŚĞŶ͕ĂŶĚ͘Ͳ^͘dƐĂŝ͕^LJŶƚŚĞƐŝƐĂŶĚƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐŽĨůĞĂĚnjŝƌĐŽŶĂƚĞƚŝƚĂŶĂƚĞƚŚŝŶ ĨŝůŵƐǀŝĂŵĞƚĂůŽƌŐĂŶŝĐĐŚĞŵŝĐĂůǀĂƉŽƌĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ͕:͘DĂƚĞƌ͘ZĞƐ͘ϭϳ;ϮϬϬϮͿƉ͘ϭϱϯϲͲϭϱϰϮ͘. ϭϳ͘. z͘KƚĂŶŝ͕^͘ KŬĂŵƵƌĂ͕ ĂŶĚ dĂĚĂƐŚŝ ^ŚŝŽƐĂŬŝ͕ ZĞĐĞŶƚ ĞǀĞůŽƉŵĞŶƚƐ ŽŶ DKsŽĨ &ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ dŚŝŶ&ŝůŵƐ͕:͘ůĞĐƚƌŽĐĞƌĂŵ͘ϭϯ;ϮϬϬϰͿƉ͘ϭϱͲϮϮ͘. ϭϴ͘. ,͘ Ͳ͘ >ĞĞ ĂŶĚ t͘ Ͳ:͘ >ĞĞ͕ ŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĂƚŝŽŶ ŽĨ Wď;ƌ͕dŝͿKϯ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ĨĂďƌŝĐĂƚĞĚ ďLJ ƉůĂƐŵĂ ĞŶŚĂŶĐĞĚĐŚĞŵŝĐĂůǀĂƉŽƌĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶŽŶ/ƌͲďĂƐĞĚĞůĞĐƚƌŽĚĞƐ͕:͘sĂĐ͘^Đŝ͘dĞĐŚŶŽů͘ϮϬ;ϮϬϬϮͿƉ͘ ϭϵϯϵͲϭϵϰϳ͘. ϭϵ͘. ,͘ Ͳ͘ >ĞĞĂŶĚt͘ Ͳ:͘ >ĞĞ͕ WƌĞƉĂƌĂƚŝŽŶĂŶĚŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĂƚŝŽŶŽĨWď;ƌ͕dŝͿKϯ&ŝůŵƐĞƉŽƐŝƚĞĚŽŶ WƚͬZƵKϮ,LJďƌŝĚůĞĐƚƌŽĚĞĨŽƌ&ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐZĂŶĚŽŵĐĐĞƐƐDĞŵŽƌLJĞǀŝĐĞƐ͕:ƉŶ͘:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ ϰϬ;ϮϬϬϭͿƉ͘ϲϱϲϲͲϲϱϳϯ͘. ϮϬ͘. z͘Ͳ͘,ƐƵ͕͘Ͳ͘tƵ͕͘Ͳ͘>ĞĞ͕'͘͘ĂŽ͕ĂŶĚ/͘z͘^ŚĞŶ͕ĞŵŽŶƐƚƌĂƚŝŽŶĂŶĚĐŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĂƚŝŽŶŽĨ Wd ƚŚŝŶͲĨŝůŵ ƐĞŶƐŽƌƐ ĂŶĚ ĂĐƚƵĂƚŽƌƐ ĨŽƌ ŵĞƐŽͲ ĂŶĚ ŵŝĐƌŽͲƐƚƌƵĐƚƵƌĞƐ͕ ^ĞŶƐŽƌƐĂŶĚ ĐƚƵĂƚŽƌƐ ϭϭϲ;ϮϬϬϰͿƉ͘ϯϲϵͲϯϳϳ͘. Ϯϭ͘. ,͘ ,ĂŶ͕ :͘ ŚŽŶŐ͕ ^͘ <ŽƚƌƵ͕ W͘ WĂĚŵŝŶŝ͕ y͘ z͘ ^ŽŶŐ͕ ĂŶĚ Z͘ <͘ WĂŶĚĞLJ͕ /ŵƉƌŽǀĞĚ ĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉƌŽƉĞƌƚLJŽĨ>ĂEŝKϯͬWď;ƌϬ͘ϮdŝϬ͘ϴͿKϯͬ>ĂEŝKϯĐĂƉĂĐŝƚŽƌƐƉƌĞƉĂƌĞĚďLJĐŚĞŵŝĐĂůƐŽůƵƚŝŽŶĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ŽŶƉůĂƚŝŶŝnjĞĚƐŝůŝĐŽŶ͕ƉƉů͘WŚLJƐ͘>Ğƚƚ͘ϴϴ;ϮϬϬϲͿƉ͘ϬϵϮϵϬϮ;ϭͲϯͿ͘. ϮϮ͘. ͘ ŚĂƐŬĂƌ͕ d͘ Ͳ,͘ ŚĂŶŐ͕ ,͘ Ͳz͘ ŚĂŶŐ͕ ĂŶĚ ^͘ Ͳz͘ ŚĞŶŐ͕ Wď;ƌϬ͘ϱϯdŝϬ͘ϰϳͿKϯ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ǁŝƚŚ ĚŝĨĨĞƌĞŶƚƚŚŝĐŬŶĞƐƐĞƐŽďƚĂŝŶĞĚĂƚůŽǁƚĞŵƉĞƌĂƚƵƌĞďLJŵŝĐƌŽǁĂǀĞŝƌƌĂĚŝĂƚŝŽŶ͕ƉƉů͘^ƵƌĨ͘^Đŝ͘Ϯϱϱ ;ϮϬϬϵͿƉ͘ϯϳϵϱͲϯϴϬϬ͘. Ϯϯ͘. ,͘ E͘ sƵ͕ D͘ s͘ >Ğ͕ ,͘ d͘ Ƶŝ͕ ĂŶĚ D͘ ͘ EŐƵLJĞŶ͕ /ŵƉƌŽǀĞŵĞŶƚ ŽĨ ĞůĞĐƚƌŝĐĂů ƉƌŽƉĞƌƚLJ ĨŽƌ Wď;ƌϬ͘ϱϯdŝϬ͘ϰϳͿKϯĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐƚŚŝŶĨŝůŵĚĞƉŽƐŝƚĞĚďLJƐŽůͲŐĞůŵĞƚŚŽĚŽŶ^ZKĞůĞĐƚƌŽĚĞ͕:͘WŚLJƐ͗͘ ŽŶĨ͘^Ğƌ͘ϭϴϳ;ϮϬϬϵͿƉ͘ϬϭϮϬϲϯ;ϭͲϲͿ͘. Ϯϰ͘. d͘ ^ĐŚŶĞůůĞƌ ĂŶĚ Z͘ tĂƐĞƌ͕ ŚĞŵŝĐĂů ŵŽĚŝĨŝĐĂƚŝŽŶƐ ŽĨ Wď;ƌϬ͘ϯ͕dŝϬ͘ϳͿKϯ ƉƌĞĐƵƌƐŽƌ ƐŽůƵƚŝŽŶƐ ĂŶĚ ƚŚĞŝƌŝŶĨůƵĞŶĐĞŽŶƚŚĞŵŽƌƉŚŽůŽŐŝĐĂůĂŶĚĞůĞĐƚƌŝĐĂůƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐŽĨƚŚĞƌĞƐƵůƚŝŶŐƚŚŝŶĨŝůŵƐ͕:͘^ŽůͲ 'Ğů^Đŝ͘dĞĐŚŶŽů͘ϰϮ;ϮϬϬϳͿƉ͘ϯϯϳͲϯϱϮ͘. Ϯϱ͘. ͘:͘dĂƌƐĂ͕:͘,͘ŶŐůŝƐŚ͕ĂŶĚ:͘^͘^ƉĞĐŬ͕WƵůƐĞĚůĂƐĞƌĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶŽĨŽƌŝĞŶƚĞĚ/ŶϮKϯŽŶ;ϬϬϭͿ/ŶƐ͕ DŐK͕ĂŶĚLJƚƚƌŝĂͲƐƚĂďŝůŝnjĞĚnjŝƌĐŽŶŝĂ͕ƉƉů͘WŚLJƐ͘>Ğƚƚ͘ϲϮ;ϭϵϵϯͿƉ͘ϮϯϯϮͲϮϯϯϰ͘. Ϯϲ͘. ^͘zŽŬŽLJĂŵĂ͕z͘,ŽŶĚĂ͕,͘DŽƌŝŽŬĂ͕^͘KŬĂŵŽƚŽ͕,͘&ƵŶĂŬƵďŽ͕d͘/ŝũŝŵĂ͕,͘DĂƚƐƵĚĂ͕<͘^ĂŝƚŽ͕d͘ zĂŵĂŵŽƚŽ͕,͘KŬŝŶŽ͕K͘^ĂŬĂƚĂ͕ĂŶĚ^͘<ŝŵƵƌĂ͕ĞƉĞŶĚĞŶĐĞŽĨĞůĞĐƚƌŝĐĂůƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐŽĨĞƉŝƚĂdžŝĂů Wď;ƌ͕dŝͿKϯ ƚŚŝĐŬ ĨŝůŵƐ ŽŶ ĐƌLJƐƚĂů ŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶ ĂŶĚ ƌͬ;ƌн dŝͿ ƌĂƚŝŽ͕:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ ϵϴ ;ϮϬϬϱͿ Ɖ͘ ϬϵϰϭϬϲ;ϭͲϴͿ͘. . .

(43) &KDSWHU. . Ϯϳ͘. ͘ ŬĂŝ͕ D͘ zŽŬĂǁĂ͕ <͘ ,ŝƌĂďĂLJĂƐŚŝ͕ <͘ DĂƚƐƵƐŚŝƚĂ͕ <͘ ^ĂǁĂĚĂ͕ ĂŶĚ D͘ /ƐŚŝĚĂ͕ &ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ ƐŽůͲŐĞů ĚĞůŝǀĞƌĞĚ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wď;ƌdž͕dŝϭͲdžͿKϯ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŽŶ ^ŝ ƵƐŝŶŐ ĞƉŝƚĂdžŝĂů JͲůϮKϯ >ĂLJĞƌƐ͕ƉƉů͘WŚLJƐ͘>Ğƚƚ͘ϴϲ;ϮϬϬϱͿƉ͘ϮϬϮϵϬϲ;ϭͲϯͿ͘. Ϯϴ͘. D͘<ŽŶĚŽ͕<͘DĂƌƵLJĂŵĂ͕ĂŶĚ<͘<ƵƌŝŚĂƌĂ͕ƉŝƚĂdžŝĂůĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐƚŚŝŶĨŝůŵƐŽŶƐŝůŝĐŽŶƐƵďƐƚƌĂƚĞƐ ĨŽƌĨƵƚƵƌĞĞůĞĐƚƌŽŶŝĐĚĞǀŝĐĞƐ͕&h:/d^h^Đŝ͘dĞĐŚ͘:͘ϯϴ;ϮϬϬϮͿƉ͘ϰϲͲϱϯ͘. Ϯϵ͘. ^͘zĂŵĂƵĐŚŝĂŶĚD͘zŽƐŚŝŵĂƌƵ͕'ƌŽǁƚŚŽĨ΀ϭϭϭ΁ͲŽƌŝĞŶƚĞĚůĞĂĚnjŝƌĐŽŶĂƚĞƚŝƚĂŶĂƚĞƚŚŝŶĨŝůŵǁŝƚŚ ƐŵŽŽƚŚƐƵƌĨĂĐĞƚŽŝŵƉƌŽǀĞĞůĞĐƚƌŝĐĂůƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ͕:ƉŶ͘:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ϯϱ;ϭϵϵϲͿƉ͘ϭϱϱϯͲϭϱϱϲ͘. ϯϬ͘. ͘:͘<ŝŵ͕͘^͘zŽŽŶ͕:͘^͘>ĞĞ͕͘'͘ŚŽŝ͕t͘:͘>ĞĞ͕ĂŶĚ<͘EŽ͕ůĞĐƚƌŝĐĂůĐŚĂƌĂĐƚĞƌŝƐƚŝĐƐŽĨ;ϭϬϬͿ͕ ;ϭϭϭͿ͕ĂŶĚƌĂŶĚŽŵůLJĂůŝŐŶĞĚůĞĂĚnjŝƌĐŽŶĂƚĞƚŝƚĂŶĂƚĞƚŚŝŶĨŝůŵƐ͕:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ϳϲ;ϭϵϵϰͿƉ͘ϳϰϳϴͲ ϳϰϴϮ͘. ϯϭ͘. D͘ Ͳ^͘ ŚĞŶ͕ d͘ Ͳ͘ tƵ͕ ĂŶĚ :͘ ͲD͘ tƵ͕ ĨĨĞĐƚ ŽĨ ƚĞdžƚƵƌĞĚ >ĂEŝKϯ ĞůĞĐƚƌŽĚĞ ŽŶ ƚŚĞ ĨĂƚŝŐƵĞ ŝŵƉƌŽǀĞŵĞŶƚŽĨWď;ƌϬ͘ϱϯdŝϬ͘ϰϳͿKϯƚŚŝŶĨŝůŵƐ͕ƉƉů͘WŚLJƐ͘>Ğƚƚ͘ϲϴ;ϭϵϵϲͿƉ͘ϭϰϯϬͲϭϰϯϮ͘. ϯϮ͘. s͘ ŽƌŶĂŶĚ͕ ^͘ dƌŽůŝĞƌͲDĐ<ŝŶƐƚƌLJ͕ <͘ dĂŬĞŵƵƌĂ͕ ĂŶĚ ͘ ͘ ZĂŶĚĂůů͕ KƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶ ĚĞƉĞŶĚĞŶĐĞ ŽĨ ĨĂƚŝŐƵĞďĞŚĂǀŝŽƌŝŶƌĞůĂdžŽƌĨĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐͲWďdŝKϯƚŚŝŶĨŝůŵƐ͕:͘ƉƉů͘WŚLJƐ͘ϴϳ;ϮϬϬϬͿƉ͘ϯϵϲϱͲϯϵϳϮ͘. ϯϯ͘. D͘ ĞŬŬĞƌƐ͕ D͘ ͘ EŐƵLJĞŶ͕ Z͘ ^ƚĞĞŶǁĞůůĞ͕ W͘ D͘ ƚĞ ZŝĞůĞ͕ ͘ ,͘ ͘ ůĂŶŬ͕ ĂŶĚ '͘ ZŝũŶĚĞƌƐ͕ &ĞƌƌŽĞůĞĐƚƌŝĐ ƉƌŽƉĞƌƚŝĞƐ ŽĨ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wď;ƌ͕dŝͿKϯ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ŽŶ ƐŝůŝĐŽŶ ďLJ ĐŽŶƚƌŽů ŽĨ ĐƌLJƐƚĂů ŽƌŝĞŶƚĂƚŝŽŶ͕ƉƉů͘WŚLJƐ͘>Ğƚƚ͘ϵϱ;ϮϬϬϵͿƉ͘ϬϭϮϵϬϮ;ϭͲϯͿ͘. ϯϰ͘. D͘͘EŐƵLJĞŶ͕,͘EĂnjĞĞƌ͕<͘<ĂƌĂŬĂLJĂ͕^͘s͘WŚĂŵ͕Z͘^ƚĞĞŶǁĞůůĞ͕D͘ĞŬŬĞƌƐ͕>͘ďĞůŵĂŶŶ͕͘ ,͘ ͘ ůĂŶŬ͕ ĂŶĚ '͘ ZŝũŶĚĞƌƐ͕ ŚĂƌĂĐƚĞƌŝnjĂƚŝŽŶ ŽĨ ĞƉŝƚĂdžŝĂů Wď;ƌ͕dŝͿKϯ ƚŚŝŶ ĨŝůŵƐ ĚĞƉŽƐŝƚĞĚ ďLJ ƉƵůƐĞĚ ůĂƐĞƌ ĚĞƉŽƐŝƚŝŽŶ ŽŶ ƐŝůŝĐŽŶ ĐĂŶƚŝůĞǀĞƌƐ͘ :͘ DŝĐƌŽŵĞĐŚ͘ DŝĐƌŽĞŶŐ͘ ;ϮϬϭϬͿ ƐƵďŵŝƚƚĞĚ ĨŽƌ ƉƵďůŝĐĂƚŝŽŶ͘. . . . .

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(45) &KDSWHU. . ʹǤͳ

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