Kalibratie van de Horizontale Abbe
Citation for published version (APA):
Sleen, van, W. R. (1988). Kalibratie van de Horizontale Abbe. (TH Eindhoven. Afd. Werktuigbouwkunde, Vakgroep Produktietechnologie : WPB; Vol. WPA0592). Technische Universiteit Eindhoven.
Document status and date: Gepubliceerd: 01/01/1988
Document Version:
Uitgevers PDF, ook bekend als Version of Record
Please check the document version of this publication:
• A submitted manuscript is the version of the article upon submission and before peer-review. There can be important differences between the submitted version and the official published version of record. People interested in the research are advised to contact the author for the final version of the publication, or visit the DOI to the publisher's website.
• The final author version and the galley proof are versions of the publication after peer review.
• The final published version features the final layout of the paper including the volume, issue and page numbers.
Link to publication
General rights
Copyright and moral rights for the publications made accessible in the public portal are retained by the authors and/or other copyright owners and it is a condition of accessing publications that users recognise and abide by the legal requirements associated with these rights. • Users may download and print one copy of any publication from the public portal for the purpose of private study or research. • You may not further distribute the material or use it for any profit-making activity or commercial gain
• You may freely distribute the URL identifying the publication in the public portal.
If the publication is distributed under the terms of Article 25fa of the Dutch Copyright Act, indicated by the “Taverne” license above, please follow below link for the End User Agreement:
www.tue.nl/taverne
Take down policy
If you believe that this document breaches copyright please contact us at:
openaccess@tue.nl
providing details and we will investigate your claim.
Stagebegeleider
Stagecontactdocent
Stageplaats
Stageperiode
Rapportnummer
Kalibratie van de Horizontal! Abbe.
(stageverslag).
Schrijver
Datum
W.R. van Sleen,
Hogeschool Drenthe,
IT3. 16-06-'68Ing.
K.B.Struik.
Drs. J.W.J.
Timans.Laboratorium
meettechnieK,
Eindhoven.
voor 6eometrische
lengte-afdeling
W/WPA,
TUE,
Februari '88 - Juni '8B.
Voorwoord
In dit verslag wordt de kalibratie van de Horizontale Abbe, een l-dillensionaal lIeetinstrument, besproken. Het doel van dit verslag is het vastleggen van hoe de kalibratie vl!rricht is, zodat de volgende kalibratie (tu5senperiodes van S jaarl snel en gemakkelijk kan verlopen. Hierbi'j gut het am de vast1egging van de meetopstelling, de .eting zelf en de uitwerking van de meetresultaten.
De lIetingen zijn uitgevoerd in (en in opdracht van) het Laboratorium voor Seometrische Lengtemeettechniek, afdeling Werktuigbouw, Technische Universiteit Eindhoven. Bij de metingen is geholpen door dhr. H. Sonnemans, en bij de uitwerking van de verantwoording voor de beste nauwkeurigheidsgrenzen door Ing. K.B. Struik.
-Inhoud
Biz.
O. Inleiding.
4·
1. Beschrijving van het meetapparaat.
5
2. Lineairiteitsmeting lII.b.v. de laser.
7
2.1 Het principe van de meting.
7
2.2 6ebruikte meetopstelling.
8
2.3 Meet procedure.
9
2.4 Resultaten en verwerking van de meting.
11
3. Foutenanalyse van de kalibratie.
12
3.1 Controle van het meetsysteem m.b.v. de laserinterferometer.
12
3.2 Uitwendige meting m.b.v. het meetsysteem van de
Horizontale Abbe.
15
4. Literatuur.
17
Bijlagen
1. Uitlijnprocedure.
2. 6ebruikte meetresultaten van de Heen- en Terugmetingen.
3. P1eetresultaten (vg1. '83-'B8).
4. 6ecorrigeerde meetresultaten.
18 1922
24O. Inleid~
In dit verslag wordt de kalibratie van de Horizontale Abbe (d.i. een l-dimensionaal meetinstrument) beschreven.
Als eerste wordt er gegeven. Hi erna worden
een
de
korte beschrijving van gedane meting (principe, resultaten en d~ verwerking hiervan beschreven.
het meetapparaat opstelling), de
In hoofdstuk 3 wordt een foutenanalyse van de gedane meting gegeven en een lineaire correctie voor het meetinstrument bepaald. Verder staat hier nog een eindconclusie (betreffende het resultaat van de kalibratiel en een voorbeeld van de bepaling van de meet-nauwkeurigheidsgrenzen bij een objectmeting.
-De Horizontale Abbe (1-dimensionale horizontale meehachine van het Abbe-type) is een optisch en mechanisch iengte-meetinstrument, welke werkt volgens de kontiktmethode. Het kan gebrui kt worden voor interne
en externe metingen van objecten met een vlakke, cylindrische, sferische of ta~se vorm.
De .eetmachine Merkt volgens het principe van Abbe. D.w.z. dat het te meten object en de vergelijkingsstandaard in een lijn met eHaar liggen. Dit is verkregen door montage van een glazen liniaal in de mutis. De aflezing van de liniaal gebeurt door projectie van de glazen schaal op een glasscherm, welke !IIordt uitgelezen m.b.v. een spiegel.
Figuur 1: Afbeelding Horizontale Abbe.
De meebachine he eft hee meetgedeelten. In het rechtse gedeelte (zie bovenstaande afbeelding) zit de meetas met de 1 iniaal, en in het linkse gedeelte zit de as voar de instelling van het nul punt van het meetbereik.
Het direkte lIeetbereik van de liniaal is lOOmm. Indirekt }:an echter een groter lIIeetberei k ver kregen worden. Di t gebeurt door tussen de
tasters een eindmaat te plaatsen, en hier het nul punt op in te stell en, zodat het Aleetberei k verpi aatst werdt. Bi jveorbeel d bi j het instellen op een eindmaat van 50mm wordt het meetbereik verplaatst van 0 •• -100 •• naar 50mm-150mm.
De schaal van de glazen 11niaal is af te lezen tot op fen bende lIierometer. Op onderstaande afbeelding is een veerbeeid hiervan te zien. De waarde die de schaal aangeeft is 14.4915mm. Veor de juiste i nstell ing van de schaal moet de 1 i jn (nr.1) i ngevangen worden tU5sen
een
van de evenwijdige lijnen. Het cijfer bovenaan de schaalaanduiding geeft de millileters aan. De tiende millimeters worden afgelezen op de schaal nr.2. De ronde schaal is onderverdeeld in 10 gedeelten (honderste millimeters), waar-van elk gedeelte weer is in 10 gedeelten is onderverdeeld (micrometers).De pi j l (nr. 3) geeft de honderste en dui zendsh mi 11 i meters weer. De aflezing van de tiende micrometers geschiedt door inter-polatie tussen de .icrometer-aanduidingen • ...
'
't(.-.-...14
... '$
.-" ,,.
t
--
o
1 234 6 789It-~
..
:...,
I I I I I I I t3
II II It II /I II II II II-..
,.
-,
"..
0 ...
"-;; c;.
" " ,Figuur 2: Voorbeeld schaalaflezing.
-2. Lineairiteitsmeti~ .. m.b.v .. de lase:~...:_.
2.1 Het principe van de meting.
De meting van de lineairiteit bestaat uit een vergelijkingsmeting van de waarde die de liniaal van de Horizontale Abbe aangeeft Lo.v. de Maar de die de laser aangeeft. Uit het verschil van deze waarden wordt de afMijking van de liniaal bepaald.
Yoor het met en van de lineairiteit van de Horizontale Abbe (ijking van de 1 i ni aal) Mordt een HeNe-1 aser (HP 5528A) gebrui kt. Verder wordt er gebruik gemaakt van de volgende optische hulpstukken:
- een lineaire interferometer (107bbAI; - tMee lineaire retro-reflektors (10767A).
Het schema van de gebruikte opstelling is te zien in de onderstaande figuur.
b
~·f~
f,
- .
LAf~ ~- C
I,
.IJ/,/'
~
a.!;-tJf,
Figuur 3: Schema laseropstelling lineairiteitsmeting.
De retro-refleetor1 (b) is op de interferometer (a) gemonteerd, en dient als referentiespiegel. Retro-reflector2 (e) werdt gebruikt veer meetspiegel. De interferometer splitst de laserbundel in tweeen
(f1; f2), zodat de Ene bundel naar de referentiespiegel en de andere naar de meetspiegel gestuurd wordt.
Door verpl aatsi ng van retro-ref 1 ector2 werdt een frequenti e-verschi I verkregen (f2; f1-..1f1l wat na verwerking het afstandsverschil, Lg.v. de verplaatsing, op de display van de laser laat zien.
2.2 6ebruikte meetopstelling.
Voer het meten van de lineairiteit (lineaire afstandsmeting) gelden
d~volgende richtlijnen voar de plaatsing van de optiek :
de
interferometer
~eettussen
de
retro-reflektor
en
de
Iaserstaan, zodat de laserbundel binnentreedt bij een van de
uiteinden van
de
pijlen die op
de
interferometer staan
afgebeeld;
een
gedeelte van de optiek (interferometer+retro-reflektor of
retro-ref 1 ektor) moet op de pI aats van het meetgereedschap
geplaatst worden en het andere op de plaatst waar zich normaal
het leetobject bevindt;
de opUek moet zo opgesteld worden, dat bij beweging van de
machine de optiek uit elkaar gaat (geplaatst in het 'near end
of travel').
Op
de
onderstaande foto
is te zien hoe
de
opstelling voar
de
lineairiteitsmeting van de Horizontale Abbe is gerealiseerd.
Figuur 4: 6ebruikte meetopsteIIing voor de lineairiteitsmeting.
Om de laser in de lijn te krijgen waarin normaal gemeten wordt, is het
aeetgedeelte zonder liniaa1 (linkse gedeeltel van de Horizontale Abbe
verwijderd. Op de plaats hiervan is de laser geplaatst, welke m.b.v. 2
-metalen blckken en vlakmaten is opgehoogd tot in de meetlijn.
De line.ire interferometer en de retro-reflectorl zijn op de meettafel van de Horizontale Abbe geplaatst. D.m.v. een hoogte- translatietafel wordt de interferometer in de meetlijn geplaatst, waar deze kan word~ uitgericht lI.b.v. de rotatiemogeliHheden van de meettafel (zie 2.3,
ui tIi jnen).
De retro-reflektar2 is geplaatst in een houder, welke bevestigd is aan de meetas van de Horizontale Abbe, waar zich normaal een taster bevindt. Hierdoor bevindt de retro-reflektor zich precies in de lijn _aarin gemeten !IIardt.
Voor automatische compensatie, van de ternperatuur van de liniaal en de toestand van de lucht waarin gemeten wordt, zijn twee sensoren op de meetmachine aangebracht.
De sensor voor het meten van de temperatuur yan de Ii ni aal is op het uiteinde van de lIeetas bevestigd (niet mogelijk am de sensor op de liniaal
te
plaatsen).De sensor voor het meten van de toestand van de lucht (temperatuur, druk en Yachtigheid) maet zo dicht fIIogelijk bij de meetweg van de laserbundel geplaatst zijn. Deze grootheden worden gemeten, omdat de golflengte (is brekingsindex-afhankelijk) van het laserlicht hiervan afhankelijk is.
2.3
Heetprocedure.Voordat er gemeten kan worden moet de laseropstelling eerst goed uitgelijnd worden (zie voor de uitlijnprocedure voor afstandsmetingen bi j 1 age 1, pagi na 17). Di t gebeurt door eerst op het oog de 1 aser zo goed mogel i jk in 1 i jn te zetten met de 1 i jn waari n normaa! gemeten wordt.
Als eerste "ordt nu de laser in liin gebracht met de beweging van de .eetas tinterferometer+retro-reflektor moeten verwi jdert worden). De laser wordt nu ingesteld op de retro-reflektor die aan de meetas bevutigd zit, zodanig dat de terugkerende bundel in de onderste opening van de laserkop terugkeerd (target yoor onderste opening draaien, en het kleine gat voor de bovenste opening). De laser moet nu
zo geplaatst worden dat in de begin- en eindpositie van de meetas de
laserbundel op het target terugkeerd (op dezelfde plek, de spot van de
1aserbundel
llig"ni et verschui ven).
Al
s
delaser goed genoeg is
uitgel i jnd, kan de interferometer, met ode
daar op bevestigde retro-reflektor,
weer opde meettafel van de
Horizontale Abbe geplaatst worden.
Hetde translatie-
en
rotatie-lIogel i
jkheden
van
de
meettafel
moet
gezorgd
worden
dat
de
2terugkerende spots van de
1aserbundel samenvall en op het target voor
de onderste opening van de laserkop ('overlapping dots' methode).
De uitli jning kan gekontroleerd worden door voor beide openingen van
de laserkop de grote gaten en de laser in de 'other'-stand te zetten
(lleetstand van de laser voor afstandmetingen). Als de laseropstelling
goed
isuitgelijnd moet de 'ready'-aanduiding op de laser oplichten,
en
lIoet
de
stralingsterkte
(te
zien
d.m.v.
schaalaanduiding
'beamstrength') van de laser over het hele meettraject in het groene
gebied blijven.
De
meting van de lineairiteit van de Horizontale Abbe bestaat uit een
meting van het totale meetbereik en
vaneen meting op verschillende
punten binnen het meetbereik.
Het totale meetbereik wordt gemeten, om te kijken wat de afwijking van
de Horizontale Abbe is t.o.v. laser over 100mm
(kontroleren aan
resultaat vorige kalibratie).
Ditgebeurt -door
de
meet as
in de
nul stand te zetten (en de laser resetten), daarna in de eindstand en
dan weer in de nuhtand
IOu - lOOmm -Omm).
Hetgeheel wordt
3maal
uitgevoerd, waarna de gemiddelde afwijking van het totale meetbereik
wordt berekend.
De meting door het meetbereik gebeurt door het doen van een
Heen-(Omm
-+100mlll) en
eenTerugmeting
(100mm -i-Omm)
opvaste punten binnen
het meetbereik. Deze punt en zijn :
Omm - lrolll - Bmm - lbmm - 22mm - 33mm - 42mm - 56mm -
79mm -90mm
-'16mm -100mm.
De afwijkingen, van de schaal van de Horizontale Abbe t.o.v. de laser,
die gemeten worden bij een Heen- en Terugmeting mogen slechts een paar
tiende micrometer van elkaar verschillen. Als dit niet zo is, dan is
er iets fout gegaan en moet de meting opnieuw worden uitgevoerd.
-2.4 Resultaten en verwerking van de meting.
Bij de aeting van het totale meetbereik werd een afwijking v~ ongeveer
-2pm
gevonden over de afstand van 1008181. Dit is in overeenstemmingmet
de ahijking die bij de vorige kalibratie (1983) gevonden werd.Van de metingen door het meetbereik, op de in 2.3 aangegeven punten, zijn er 6 gebruikt voor de verdere verwerking. In bijlage 2, pagina lB, zijn deze Jleetresultaten plus grafieken
te
zien. De metingen aangegeven met een H zijn Heenmetingen, en die aangegeven met een T teruglletingen.Van de gebrui kte /:) met i ngen is het gemi ddel de bepaal d per meet punt • Het resultaat is uitgezet in een grafiek en vergeleken met de
meehaarden van de vorige kalibratie (zie bijlage 3, pagina 21>. Uit het resultaat van de vergelijking is op te maken dat er geen of nauweliHs verandering is opgetreden in de afwijking van de liniaal van de Jleetmachine.
Door het resultaat is een bestpassende lijn berekend (m.b.v. een 2D-seftwarepakket), waaruit een lineaire correctie is bepaald veor de lIIeetwaarden van de meetlllachine (zie 3.1>. Deze correctie bestaat uit de gespiegelde lijn van de berekende bestpassende lijn door de meetresultaten. De gecerrigeerde meetwaarden en grafiek zijn te zien
in bijlage
4,
pagina23.
De lineaire correctie die is berekend uit de lIleetresultaten voldoet aan de formule :
(1/45-0.2) 1-1"" waarbij 1 de meetlengte is. De maximale afwijking hiervan is :
3. Foutenanalyse van de kalibratie.
In dit hoofdstuk worden de nauwkeurigheidsgrenzen verantwoord van: de controle van het meetsysteem m.b.v. een laserinterferometer
(3. 1) ;
een uitwendige meting m.b.v. het meetsysteem van de Horizontale Abbe (3.2).
3.1 Controle van het meetsysteem m.b.v. de laserinterferometer.
De analyse van de toevallige afwijkingen, die kunnen optreden bij het ,uten van de lineairiteit van de ingebouwde liniaal m.b.v. de laser, worden in dit gedeelte geanalyseerd.
Deze toevallige afwijkingen zijn te wijten aan onzekerheden in
de golflengte van de gebruikte lichtbron; de brekingsindex van de lucht;
de uitzettingscoefficient van het meetsysteem (liniaal)j de niet evenwijdigheid van de laserbundel aan de meetasj de fout t.g.v. het instellen yen de optische aflezing.
De golflengte van de gebruikte lichtbron
De relatie onnauwkeurigheid die kan optreden in de frequentie van de laser is
De brekingsindex van de lucht
Voor de brekingsindex van de lucht zijn de volgende grootheden van beling, met tevens hun relatieve invloed :
-de druk O.5mbar, geeft een afwijking van 1.5*10-
1 (252);Q -6
de temperatuur 0.15 C, geeft een afwijking van 0.15*10
(25
3
);
de vochtigheid afwijking van
30%,geeft een afwijking
-1
van
3*10 (254);
(zie lit.
5).De uitzettingscoefficient van het meetsysteem
Bij
de invloed van de onzekerheid in de uitzettingscii: fficient spelen
at-SAT en AT-Sa
een rol, waarbij
0:de lineaire uitzettingscoiHficient
is en
T
de temperatuur.
De waarde van de uitzettingscoefficient van de liniaal is
9.S*10-6±2*10-6•De
invloeden van
de
uitzettingscoefficient en
zijn onzekerheid,
o 0
voorwaarde
19 ~ T ~ 21 ,zijn respectievelijk
-6 .-6
9.5*10
*
0.15 = 1.43*111 (25r ) , ..J2110-6 - 1.0
=
2.0*10-6 (25 6',Dit
zijn de relatieve invloeden van de onzekerheid van
0:en de
verschiltemperatuur.
De "iet evenwijdigheid van de laserbundel
De onbekende systematische afwijking t.g.v.
uitlijnfouten
van
de
1
aserbundel is:
2 2 2
ah . .
tl =}'fll*If'=}'f*l*lall) =}'z*a
!l(zie ondershande figuuri.
Ul •
Figuur 5: Uitlijnfout laser.
De
uitlijnfouten ZlJn niet relatief weer te geven.
Deze
is voar
1=100mmen
a=O.lmmgelijk
aan O.l,<tm (25Standaardafwijking t.g.v. het aflezen van de schaal
Voor het bepale'n van de standaardafwijking, van de fout t.g.v. het aflezen van de optisc:he schaal van de Horizontale Abbe, is er 10 ke-er op 1 punt ingesteld (invangen van lijn tussen 2 evenwijdige strepen). Van het resultaat hiervan is de 2S-waarde bepaald
2S-waarde=O.52pm (25 S)'
Totale relatieve afwijking
=/9 + 225 + 225 + 900 + 20300 + 40000 -6 =2.5*10 • Vo 0 r 1:: 1 0 (I m m gel d t : 2 S 1 (I (I m m = 1 00* 2 • 5 * 1 0 -6:; 0. 2 5
~(m
• Lineairiteit correctie I -8 *10Door de metingen gaat een bestpassende rectrte die voldoet aan de formule :
(-1/45+0.2) /-tal, waarbij
I,
de meetlengte, in mm(zie
bijlage2).
De systematische afwijkingen 1iggen t.o.v. deze lijn in een band van
±O.5f.1m (25
9 =0. 5f.lm I •
Deze besc:houwen we als onbekende toevallige ahijkingen. De maximale toevallige afwijking van de correctie is nu te berekenen uit :
=)
0.252 =O.77pm.----_._
..__
.._
...,
O 12 0 1:'''')2 .. ",2 + • + .~4 + u.~ - 14-Conclusie
De correctieforliule voor de liniaal is gelijk aan het omgekeerde van
de bestpassende lijn, welke berekend is uit de meetresultaten
13.1.3)~(1/45-0.2)
pm.
De maximale afwijking hiervan is
±O. 77 I-lll.3.2 Uitwendige meting m.b.v. het m!?etsysteem van de Horizontal!? Abbe.
H.b.v.
de
juiste
meettasters
kunnen
uitwendige
metingen
worden
verricht aan diverse objecten (bijv. eindmaten). Hieronder voIgt een
voorbeeld van de foutenafschatting voor de meting van een object van
50I11III.
Fout bij nulpuntsbepaling
systematische
toevallige
afwi
j kingan
afwijkingen
bekend onbekend
2S (~(m )(pm)
(f(m)..
---~--vlakheidstasters:
-
vaste
O. 1-
beweegbare
0. 1presentat i e van
de informatie
0.52
..
---_
...
_-
---_
.. ---=0. 54J.im.Fouten bij de ebjectmeting
Yeorwaarde
veer
detemperatuur
::; T ;;; 21 • o---_.-
---systematische
teevallige
afwijkingen
afwijkingen
bekend
onbekend
28 (pill 1 (flm 1 (flm )enbekendh. temp.
ill
=
1
*0:*ill
O. 1enbekendh.
L.U.C.
ill =1 *ilT*.&r
(i. 1presentatie van
o~
_______
de infermatie
25 50=/0.1" '--'0 12 + (-).1 2 + 0 .~L
e~.2-1
=0.54pm.
Tetale meetonnauwkeurigheid van het object
j
2 22-··'
2S S0llllll,tet=
(25
0
) +(25
50)+l2S
C
)
=~2
+ 0.542 +0.77~
=1.1,'llll. 16-4. Literatuur.
1. Users Guide (HP5528A) Laser Measurement System.
2. Horizontal Metroscope (Abbe Type), Operating instructions.
3. Documentatiecentrum voor NKO-erkenningen, onderdeel : Horizontale Abbe.
4. Meetgegevens kalibratie horizontale Abbe, 1983. 5. Decumentatiecentrum veer NKD-erkenningen, enderdeel
Lasermeetsystemen.
Bijlage 1 Uitlijnprocedure. HOWTOU8E:
1.
a.
a.
.to . (EXISTING POSITION OF RETURN DOTS) VERTICAL AXIS+
(LASER HEAD MOVEMENT)+
-
--
-INTERFEROMETER DOT HORIZONTAL AXIS
+
+
+
t
TURN HEAD -TRANSLATE HEADOverlapping Dots Alignment Procedure
- 1 B
-(NEW POSITION OF RETURN DOTS)
Bijlage 2a
Gebruikte meetresultaten van de Heen- en Terugmetingen.
l"Ieetposi ti e H2 H1 T1 11-05-' Be 16-05-'8B 16-05-'88 (rom) {f,tm} (filld (f.lm ) -0 0.0 0.2 -0.6 1 0.40.4
-0.6 B 0.70.9
-0.4
16 -0.2 0.1 -0.6 22 0.0 -0.5 -O.B 33 -0.8 -0.3 -0.7 42-1.4
-1.0 -1.4 56 -0.7 -1.1 -1.5 78-1.4
-1.3 -1.6 90 -2.2 -2.1 -2.9 96 -2.0 -1.5 -1.7 100 -2.0 -2.1 -2.1--- ---_
.._-
--_._---______ .. 'h~._._. __ .. _. _ _ _ _ .. __ .,.,.__
.. _----Meetpositie H2 T2 H3 16-05-'88 16-05-'88 16-05-'88 (mm) (/-lm) (f.i~ ) _ (/-Im! ______
0 0.1 -0.2 0.0 0.3 -0.30.3
B 1.1 0.5 0.416
0.6
0.40.1
22 -0.6 -0.3-O.B
33 0.0 -0.3-0.8
42 -0.4-0.8
-1.2
56-O.B
-0.8 -1.278
-1.1 -1.0-loB
90 -1.9 -1.8 -3.0 96 -1.3 -1.7-2.7
100 -1.1 -1.1 -1.3Bi j l age 2b
Brafieken behorende bij de gebruikte meetresultaten.
-
H211-5-'88
e
:.t 1 ' - ' J4a,5
.,
..,.
IIIa
-
:>-a,5
0 ~-1
• ..0 a:-1,5
·
J4~
-2
•-2,5
3 et-a
29
49
69
a9
1aa
III fneetpositie (..
)H1+T1 16-5-"88
-
!5
'-' 1 ,-~~---~ a4---~---~ --1 •~
-2
-3+---~--r---r-~~~--~--~---r--~--~ 929
49
69
a9 199 fneetposi t i e .( • • ) 20--
§
-·
..0«
·
l.
,.
"
e :;) '-'"""
...
~,.,
-
6
...:>·
..0«
·
""
0.c.
• B 4-,.
H2+T2 16-5-·88
1,5,---,
19,5
9~~--~--~~---__;-9,5
"!'"1-1,5
-2+---r-~~~--_r--~--,_--~~~_;~~ 929
49 69sa
199eneet.posit.ie (enm)
H3 16-5-'88 1 9 -1-2
-3 929
49
69S9
199
meetposit.ie (mm)
Bi j l age 3a Meetresultaten (vgl. '83-'88).
De resul taten hi eronder Z 1 In een gemi ddel de van 6 met i ngen door het
meetbereik van de liniaal van de Horizontale Abbe (100mm).
Verder is een vergelijking (zie voor grafieken bijlage 2) te zien met de resultahn van de vorige kalibratie van de horizontale Abbe uit
1983. Meetpositie 1--. (mm) 0 8 16 22 33 42 56 78 90 96 100 met. '88 met. '83 ._-+ ... _ ... _ ... (. pl,." .. ffi ... )" ... _ ... _ .... __ ~ ... - ... --~ r(~!_
