訫圆园员员 中国物理学会 悦澡蚤灶藻泽藻 孕澡赠泽蚤糟葬造 杂燥糟蚤藻贼赠 摇 澡贼贼责院辕 辕 憎怎造蚤曾遭援 蚤责澡赠援 葬糟援 糟灶 园源缘圆园怨鄄员摇摇摇摇
低能
悦造 原子刻蚀 杂蚤渊员园园冤表面的分子动力学模拟
鄢
贺平逆
员冤圆冤摇 宁建平
员冤摇 秦尤敏
员冤摇 赵成利
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员冤猿冤覮 员冤渊贵州大学等离子体与材料表面作用研究所袁贵阳摇 缘缘园园圆缘冤 圆冤渊贵州大学理学院袁贵阳摇 缘缘园园圆缘冤 猿冤渊荷兰皇家科学院等离子体研究所袁荷兰摇 圆猿园园冤 渊圆园员园 年 源 月 猿园 日收到曰圆园员园 年 苑 月 员怨 日收到修改稿冤 摇 摇 使用分子动力学模拟方法研究了不同能量渊园郾 猿要员园 藻灾冤的 悦造 原子对表面温度为 猿园园 运 的 杂蚤渊员园园冤表面的刻蚀 过程援 模拟中采用了 栽藻则泽燥枣枣鄄月则藻灶灶藻则 势能函数来描述 悦造鄄杂蚤 体系的相互作用援 模拟结果显示袁随着入射 悦造 原子在表面 的吸附达到饱和袁杂蚤 表面形成一层富 悦造 反应层援 这和实验结果是一致的援 反应层厚度随入射能量增加而增加援 反应 层中主要化合物类型为杂蚤悦造袁且主要分布于反应层底部援 模拟结果发现随初始入射能量的增加袁杂蚤 的刻蚀率增大援 在入射能量为园郾 猿袁员 和 缘 藻灾 时袁主要的 杂蚤 刻蚀产物为 杂蚤悦造源援 在入射能量为 员园 藻灾 时袁主要的 杂蚤 刻蚀产物为 杂蚤悦造曾 渊曾 约 源冤 援 分析表明随着入射能量的增加袁悦造 对 杂蚤 的刻蚀从化学刻蚀向物理刻蚀转变援 关键词院 分子动力学袁 悦造 刻蚀 杂蚤袁 分子动力学模拟袁 微电子机械系统 孕粤悦杂院 缘圆援 远缘援 再赠袁 缘圆援 苑苑援 月灶袁 愿员援 远缘援 悦枣 鄢贵州省优秀青年科技人才培养计划渊 批准号院苑园园怨远愿员园员冤 和国际热核聚变实验堆渊 陨栽耘砸冤 计划专项渊 批准号院圆园园怨郧月员园源园园远冤 资助的 课题援 覮 通讯联系人援 耘鄄皂葬蚤造院 早援 枣怎躁怎灶岳 澡燥贼皂葬蚤造援 糟燥皂员郾 引
言
目前袁等离子体刻蚀工艺已被广泛应用于大规 模集成电路渊蕴杂陨冤 和微电子机械系统渊酝耘酝杂冤 生产 制造领域咱员要远暂援 长期以来袁人们一直在使用卤基渊云袁 悦造袁月则冤等离子体对硅材料进行刻蚀咱苑要员员暂援 深入了解 悦造圆 等离子体刻蚀杂蚤 的刻蚀机理袁对于改善刻蚀工 艺袁提高刻蚀效率袁具有重要意义咱员暂援 悦造圆 等离子体对杂蚤 的刻蚀袁主要是利用等离子 体中的离子渊悦造垣袁悦造圆垣 等冤 和自由活性基团渊悦造冤 与 杂蚤 表面原子相互作用袁通过生成易挥发的 杂蚤悦造源 或 者溅射杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤来达到对 杂蚤 的刻蚀目的咱员袁员圆暂援 虽 然通过大量的实验研究袁人们对刻蚀过程有一定的 了解咱员袁源袁缘袁员圆暂援 但由于等离子体环境异常复杂以及刻 蚀过程中伴随着大量复杂的物理尧化学反应咱员袁猿袁员圆暂援 目前人们很难利用现有的实验手段对刻蚀过程进 行实时和原位的分析来获得刻蚀的动力学数据袁因 此刻蚀机理并没有被完全了解咱员猿袁员源暂援 分子动力学渊酝阅冤模拟方法因能方便地获得实 验很难获得的原子级别的微观动力学数据袁实现对 刻蚀过程的原位和实时的分析袁目前被广泛应用于 等离子体刻蚀研究咱员缘要圆源暂援 匀葬灶泽燥灶 等人使用 酝阅 模 拟方法研究了悦造垣离子渊 初始入射能量在 员缘要圆园园 藻灾 之间冤对 杂蚤 的刻蚀袁发现 杂蚤 的刻蚀量依赖于 悦造垣 离子的入射能量袁并被实验所证实咱圆猿暂援 匀怎皂遭蚤则凿 和 郧则葬增藻泽 利用 酝阅 模拟方法研究了不同温度下 云 和 悦造 原子对 杂蚤 表面的自发刻蚀现象咱员苑暂援 他们的模拟结 果表明在猿园园 运 时袁悦造 原子对 杂蚤 的刻蚀率渊杂蚤 刻蚀 量与悦造 入射剂量的比值冤 约为 园郾 园园缘袁主要刻蚀产 物为杂蚤悦造源袁这和相关实验结果符合得很好援 目前对 含悦造圆 等离子体对杂蚤 刻蚀的 酝阅 模拟研究主要集中 在入射能量较大渊 跃 员缘 藻灾冤的 悦造垣对杂蚤 的刻蚀研究 上咱员缘袁员远袁员愿暂援 但在含 悦造 圆 等离子体环境中袁广泛存在有 悦造 自由基袁且对刻蚀过程有重要的影响咱员苑暂援 而对于 入射能量较低 渊 约 员缘 藻灾冤的 悦造 自由基与 杂蚤 的相互 作用研究却少有报道援 本文通过酝阅 模拟方法考察了低能渊能量范围 在园郾 猿要员园 藻灾 之间冤悦造 原子刻蚀 杂蚤 的动态过程援 从 刻蚀率尧表面结构变化和刻蚀产物等方面袁着重分 析了入射能量分别为园郾 猿袁员袁缘 和 员园 藻灾 时对刻蚀过 程的影响援 根据模拟结果对刻蚀产物的产生机理进园源缘圆园怨鄄圆摇摇摇摇 行了讨论和揭示援 对 悦造圆 等离子体刻蚀杂蚤 的处理方 法上有一定参考价值援
圆郾 模型和模拟方法
摇 摇 在我们的 酝阅 模拟过程中袁模拟体系中原子的 位置和速度利用灾藻造燥糟蚤贼赠鄄灾藻则造藻贼 算法咱圆缘暂对牛顿运动 方程求解获得援 原子间的相互作用力通过对原子相 互作 用 势 能 求导 获 得援 势能函数利用 匀怎皂遭蚤则凿 和 郧则葬增藻泽 建 立 的 用 于 杂蚤鄄悦造 体 系 的 栽藻则泽燥枣枣鄄月则藻灶灶藻则 渊栽月冤函数咱圆远暂援 该势能函数及其参数的建立均基于 理论和实验数据咱员苑袁圆远暂援 对于 匀怎皂遭蚤则凿 和 郧则葬增藻泽 建立 的用于杂蚤鄄悦造 体系的 栽月 函数的具体描述和参数设 置袁可参见文献咱圆远暂援 匀怎皂遭蚤则凿 等人咱员苑暂采用该势能 函数成功的预测了悦造 对 杂蚤 的自发刻蚀现象袁获得 了和实验一致的结果援 本次模拟中初始样品是一个由员员缘圆 个硅原子 组成的晶体硅 杂蚤 渊员园园冤援 样品最表层包含 苑圆 个 杂蚤 原子渊定义为 员 酝蕴冤袁底部的两层原子固定袁使其不 会因为入射原子的轰击产生空间整体平移援 样品的 曾 和 赠 方向渊 平行于样品表面冤 采用周期性边界条 件援 悦造 原子的初始入射位置由系统随机设定且与样 品原子间无相互作用袁入射方向垂直于表面援 模拟 的时间步长设为园郾 缘 枣泽援 对单个粒子而言袁作用总时 间为员 责泽援 粒子入射是连续进行的袁之间没有时间间 隔援 在每次入射结束袁将检查产物援 当粒子与表面的 结合能小于阈能渊耘遭冤时袁其就被认为与表面发生了 热脱附并生成产物袁符合这个标准的产物将从样品 中移除援 阈能表达如下式咱圆苑暂院 耘遭 越 噪月栽造灶渊子粤冤袁 渊员冤 其中噪月 是月燥造贼扎皂葬灶灶 常数袁栽 是表面温度袁子 是时间 常数袁粤 是常量援 本次模拟中 子 和 粤 的取值分别为 员 滋泽 和 员园员圆 泽原 员咱圆苑暂援 样 品 温 度 设 为 猿园园 运袁 并 使 用 月藻则藻灶凿泽藻灶 温度控制机理来确保刻蚀过程中样品温 度的恒定咱圆愿暂援猿郾 模拟结果与分析
摇 摇 为了了解 悦造 原子在表面的吸附情况袁图 员 给出 了初始入射能量渊耘蚤冤分别为 园郾 猿袁员袁缘 和 员园 藻灾 时袁 悦造 原子在 杂蚤 表面的沉积量和入射剂量之间的关系援 从图员 可以发现在不同入射能量下袁开始阶段渊 约 员 酝蕴冤几乎所有入射 悦造 原子都沉积于 杂蚤 表面援 当 悦造 入射量达到约圆要猿 酝蕴 后袁悦造 原子在 杂蚤 表面的量达 到饱和援 与 耘蚤 等于园郾 猿 和 员 藻灾 时的情况相比袁耘蚤 为 缘 和 员园 藻灾 时的 悦造 在表面的沉积量随着 悦造 的持续 入射起伏较大援 为了让模拟结果具有统计意义袁图 中我们还给出了不同耘蚤 下袁悦造 的平均沉积量援 可以 看到悦造 原子的平均沉积量随 耘蚤 增加而增加援 图员摇 不同初始入射能量下 悦造 的沉积量与入射剂量的关系渊葬袁 遭袁糟 和 凿 分别为 园郾 猿袁员袁缘 和 员园 藻灾 下 悦造 的平均沉积量冤 模拟结果显示袁伴随着 悦造 原子在表面的吸附袁 初始样品杂蚤 表面形成了氯化反应层渊包含 悦造 的区 域冤援 这一现象在 匀藻则皂葬灶 和 阅燥灶灶藻造造赠 等人利用激光 诱导热解析渊 造葬泽藻则鄄蚤灶凿怎糟藻凿 贼澡藻则皂葬造 凿藻泽燥则责贼蚤燥灶冤 方法 研究悦造圆 等离子体刻蚀 杂蚤渊员园园冤 过程的实验中得到 证实咱圆怨暂援 他们发现随着 悦造圆 等离子体入射剂量的增 加袁杂蚤 表面会迅速形成一个稳态的含 悦造 反应层援 图 圆 给出了不同 耘蚤 下袁 达到稳态时含 悦造 反应层中 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤 的平均密度援 从图中可以看出在所有 耘蚤 下袁反应层中 杂蚤悦造 所占比例最高袁其次为 杂蚤悦造圆袁而 杂蚤悦造猿 所占比例最低援 不同 耘蚤 下 杂蚤悦造袁杂蚤悦造圆 和 杂蚤悦造猿 的密度和比例均不相同援 这表明 耘蚤 对含悦造 反应层 的结构有一定的影响援 需要指出的是袁反应层中不 包含杂蚤悦造源援 这是由于 杂蚤悦造源 易挥发袁与表面结合力很 弱援 通过对前面提到的渊员冤式的计算得知袁当粒子与 表面的结合能小于约园郾 源 藻灾 时袁我们即认为该粒子 与表面发生了热脱附袁成为产物援 因此在模拟过程 中袁一旦表面形成了 杂蚤悦造源袁其立即被作为刻蚀产物 从基体中去除援 下面袁看不同 耘蚤 下杂蚤袁悦造 原子和 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤在 反应层中的分布情况援 图 猿 和图 源 分别给出了在 悦造 入射剂量达到员缘 酝蕴 时袁耘蚤 分别为园郾 猿袁员袁缘 和 员园 藻灾 时袁含 悦造 反应层中 杂蚤袁悦造 原子和 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤 的 深度分布情况援 先来看 悦造 原子在反应层中的分布援 从图猿 中我们可以看到袁随着 耘蚤 的增加袁由于刻蚀园源缘圆园怨鄄猿摇摇摇摇 图圆摇 不同入射能量下袁表面含 悦造 反应层中袁杂蚤悦造曾渊 曾 约 源冤 的平 均密度 图猿摇 入射 员缘 酝蕴 悦造 后袁不同入射能量下反应层中 杂蚤袁悦造 原子沿 深度扎 方向的分布情况 的原因袁更多数量的 悦造 深入基体袁并到达距表面更 深的区域袁此现象在 耘蚤 等于员园 藻灾 时袁尤其明显援 从 图猿 中还可以看到袁含 悦造 反应层的厚度随 耘蚤 增加 而增加援 再看 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤 在反应层中的分布袁图 源 显示所有耘蚤 下袁反应层中的 杂蚤悦造 均比 杂蚤悦造圆 和杂蚤悦造猿 更加深入基体袁反应层表面富含 杂蚤悦造圆 和杂蚤悦造猿援 相对 图源摇 入射 员缘 酝蕴 悦造 后袁不同入射能量下反应层中 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤 沿深度扎 方向的分布情况 于其他耘蚤下的情况袁耘蚤 为员园 藻灾 时袁杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤的 峰值距表面最深援 其中 杂蚤悦造 的峰值出现在初始表面 下方约猿 魡 的位置袁而 杂蚤悦造圆 和杂蚤悦造猿 的峰值分别出 现在距初始表面下方约圆郾 缘 和 园 魡 位置援 图缘摇 不同入射能量下 杂蚤 的刻蚀率 从图猿 可以初步看到袁入射 悦造 原子的 耘蚤 越大袁 对表面杂蚤 的刻蚀越显著援 为了清楚的了解上述不同 耘蚤 下袁悦造 对 杂蚤 的刻蚀情况袁图 缘 给出了 耘蚤 分别为 园郾 猿袁员袁缘 和 员园 藻灾 时袁杂蚤 的刻蚀量和 悦造 入射剂量之
园源缘圆园怨鄄源摇摇摇摇 间的关系援 从图 缘 可以看到袁在 耘蚤 为 园郾 猿 和 员 藻灾 时袁稳态时刻蚀率很低袁分别约为 园郾 园园猿 和 园郾 园员员援 而在耘蚤 为 缘 和 员园 藻灾 时袁 稳 态 刻 蚀 率 分 别 约 为 园郾 园源愿 和 园郾 员圆员援 这表明 杂蚤 的刻蚀率随 耘蚤 增加 而 增加援 表员摇 不同入射能量渊耘蚤冤下的主要产物种类及数量 产物类型 渊曾 跃 员袁赠 跃 源冤 产物数量辕 酝蕴 耘蚤越 园郾 猿 藻灾 员 藻灾 缘 藻灾 员园 藻灾 悦造 员员郾 源园猿 员员郾 圆远源 愿郾 园愿猿 远郾 圆园愿 悦造圆 员郾 员远苑 员郾 园源圆 员郾 苑缘园 员郾 猿愿怨 杂蚤悦造 园郾 园园园 园郾 园园园 园郾 园园园 园郾 园圆愿 杂蚤悦造圆 园郾 园园园 园郾 园园园 园郾 园员源 园郾 圆猿远 杂蚤悦造猿 园郾 园园园 园郾 园园园 园郾 园园圆 园郾 园员圆 杂蚤悦造源 园郾 园缘远 园郾 员远苑 园郾 源愿远 园郾 圆远源 杂蚤曾悦造赠 园郾 园园园 园郾 园园园 园郾 园源圆 园郾 员怨源 摇 摇 在化学反应和粒子碰撞的共同作用下袁部分和 表面弱结合的粒子会脱离表面而成为产物援 表 员 列 出了袁在入射 悦造 的剂量达到 员缘 酝蕴袁耘蚤 分别为园郾 猿袁 员袁缘 和 员园 藻灾 时袁主要的产物类型及数量援 从表 员 的 数据可以看出袁随着 耘蚤 的增加袁产物种类增加援 单质 原子悦造 在所有产物中所占比例最大袁其数量随 耘蚤 增加而减少援 这表明饱和含 悦造 层削弱了 悦造 在表面 的吸附袁而较大的 耘蚤 可提高悦造 在表面的吸附能力援 不同 耘蚤 下 的 含 杂蚤 刻蚀产物中袁挥发性产物分子 杂蚤悦造源 所占比例最大援 在 园郾 猿袁员袁缘 和 员园 藻灾 时袁不同 耘蚤 下含 杂蚤 刻蚀产物中 杂蚤悦造源 所 占 百 分 比 分 别 为 员园园豫 袁员园园豫 袁愿怨豫 和 猿远豫 袁其数量随 耘蚤 增加而增 加援 在 园郾 猿 和 员 藻灾 时袁没有发现 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤 产物援 这和匀怎皂遭蚤则凿 与 郧则葬增藻泽 等咱员苑暂研究悦造 对 杂蚤 表面的自 发刻蚀现象时得到的刻蚀产物为员园园豫 杂蚤悦造源 的结 论是一致的援 在 耘蚤 等于员园 藻灾 时袁主要的含 杂蚤 刻蚀 产物为杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤曰另外袁对于 杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤刻蚀产 物袁杂蚤悦造圆 的量最多援 上述分析表明袁耘蚤 对产物数量和 类型有一定影响援
源郾 讨
论
随着入射悦造渊能量为 园郾 猿要员园 藻灾冤在 杂蚤 表面的 沉积袁表面将形成含 悦造 的反应层援 同时发生 悦造 对 杂蚤 的刻蚀现象援 下面我们将对不同入射能量下的含 杂蚤 刻蚀产物的构型和原子来源以及与表面的作用势 能进行进一步分析袁以揭示不同入射能量下 悦造 刻蚀 杂蚤 的刻蚀机理援 首先袁根据文献咱圆源暂袁本文 悦造 刻蚀 杂蚤 的刻蚀机理模型包括院员冤 当一个荷能 悦造 轰击 杂蚤 样品表面时袁样品表面的 杂蚤 因碰撞而获得足够的动 能并离开表面成为刻蚀产物援 刻蚀产物为单原子 杂蚤援 这种现象定义为物理溅射援 圆冤 如果 悦造 与样品表面 杂蚤 原子发生化学反应袁生成易挥发性分子援 这些易 挥发分子发生热脱附而成为刻蚀产物援 此现象定义 为化学溅射援 猿冤 如果刻蚀产物是通过物理碰撞进行 能量传递袁使得易挥发分子脱离表面而产生的援 这 种现象定义为化学增强的物理溅射援 在这里袁把 员冤 和猿冤归为物理刻蚀袁圆冤归为化学刻蚀援 利用上述模型袁对不同 耘蚤 下的含杂蚤 刻蚀产物 的构型和原子来源以及与表面的作用势能进行了 进一步的分析援 图 远 给出了不同 耘蚤 下袁由化学刻蚀 悦 和物理刻蚀 孕 产生的 杂蚤 的刻蚀量占对应入射能 量下杂蚤 刻蚀总量的比例援 从图中可以看出袁在 耘蚤 为 园郾 猿袁员 藻灾 时袁悦造 只通过化学刻蚀对 杂蚤 进行刻蚀援 猿 和缘 藻灾 时袁主要的刻蚀机理为化学刻蚀援 在 苑 和 员园 藻灾 时袁物理刻蚀是主要的刻蚀机理援 以上分析表 明随着入射能量的增加袁在我们的研究范围内袁悦造 对杂蚤 的刻蚀有从化学刻蚀为主向物理刻蚀为主转 变的趋势援 图远摇 不同入射能量下袁化学刻蚀 悦 和物理刻蚀 孕 产生的 杂蚤 的 刻蚀量占对应入射能量下杂蚤 刻蚀总量的比例缘郾 结
论
通过对 温 度 为猿园园 运 时袁以不同能量 渊园郾 猿要 员园 藻灾冤垂直入射的 悦造 与晶体 杂蚤渊员园园冤 表面的相互 作用过程的分子动力学模 拟援 发现所有入射能量 下袁随着入射 悦造 原子在 杂蚤 表面的沉积袁杂蚤 表面会迅 速形成饱和的含悦造 反应层袁其厚度随入射能量增加园源缘圆园怨鄄缘摇摇摇摇 而增 加援 反应层中主要化合类型为 杂蚤悦造袁 其 次 为 杂蚤悦造圆 和杂蚤悦造猿援 杂蚤悦造 主要分布于反应层底部靠近基底 位置援 悦造 对 杂蚤 的刻蚀率随入射能量增加而增加援 在 入射能量为园郾 猿袁员 和 缘 和 员园 藻灾 时袁刻蚀率分别为 园郾 园园猿袁园郾 园员员袁园郾 园源愿 和 园郾 员圆员援 入射能量为 园郾 猿袁员 和 缘 藻灾 时袁主要的刻蚀产物为 杂蚤悦造源袁主要的刻蚀机理 是化学刻蚀援 入射能量为 员园 藻灾 时袁主要的刻蚀产物 为杂蚤悦造曾渊曾 约 源冤袁主要的刻蚀机理为物理刻蚀援 随着 入射能量的增加袁悦造 对 杂蚤 的刻蚀有从化学刻蚀为主 向物理刻蚀为主转变的趋势援 在本文撰写过程中袁得到了比利时安特卫普大学化学系 孕蕴粤杂酝粤晕栽 课题组 粤援 月燥早葬藻则贼泽 教授的悉心指导援 在此对她 表示由衷感谢援 咱员暂 允葬灶泽藻灶赠 匀袁 郧葬则凿藻灶蚤藻则泽 匀袁 月燥藻则 酝 阅袁 酝蚤噪燥袁 耘造憎藻灶泽责燥藻噪袁 云造怎蚤贼皂葬灶 允 员怨怨远 允援 酝蚤糟则燥皂藻糟澡援 酝蚤糟则燥藻灶早援 远 员源 咱圆暂 粤贼澡葬增葬造藻 杂 阅袁 耘糟燥灶燥皂燥怎 阅 允 员怨怨远 允援 灾葬糟援 杂糟蚤援 栽藻糟澡灶燥造援 月 员源 猿苑园圆 咱猿暂 阅葬蚤 在 蕴袁 酝葬燥 酝袁 宰葬灶早 再 晕 圆园园远 孕澡赠泽蚤糟泽 猿缘 远怨愿 渊蚤灶 悦澡蚤灶藻泽藻冤 咱戴忠玲尧毛摇 明尧王友年 圆园园远 物理 猿缘 远怨愿暂 咱源暂 再怎早燥 韵袁 韵灶燥 运 圆园园愿 允援 灾葬糟援 杂糟蚤援 栽藻糟澡灶燥造援 月 圆远 员源圆缘 咱缘暂 栽藻则葬燥噪葬袁 再怎凿藻灶袁 晕蚤泽澡蚤赠葬皂葬袁 陨憎葬燥 员怨怨猿 粤责责造援 孕澡赠泽援 蕴藻贼贼援 远猿 猿猿缘缘 咱远暂 砸葬灶早藻造燥憎 陨 宰袁 蕴觟泽糟澡灶藻则 匀 员怨怨缘 允援 灾葬糟援 杂糟蚤援 栽藻糟澡灶燥造援 月 员猿 圆猿怨源 咱苑暂 粤造凿葬燥 悦 酝袁 粤早则葬憎葬造 粤袁 月怎贼藻则葬 砸 耘袁 宰藻葬增藻则 允 匀 圆园园怨 孕澡赠泽援 砸藻增援 月 苑怨 员圆缘猿园猿 咱愿暂 蕴怎 阅 允袁 允蚤葬灶早 在 阅 圆园园苑 悦澡蚤灶援 允援 灾葬糟援 杂糟蚤援 栽藻糟澡灶燥造援 圆苑 圆缘 渊蚤灶 悦澡蚤灶藻泽藻冤 咱卢德江尧蒋庄德 圆园园苑 真空科学与技术学报 圆苑 圆缘暂 咱怨暂 砸怎贼噪俦灶蚤藻灶觶藻 姚在袁 郧则蚤早燥灶蚤泽 粤袁 砸觶藻扎葬 粤袁 月葬遭燥灶葬泽 允 郧袁 允燥贼葬怎贼蚤泽 粤 圆园园猿 孕澡赠泽蚤糟泽 葬灶凿 悦澡藻皂蚤泽贼则赠 燥枣 杂燥造蚤凿 杂贼葬贼藻 源 源园苑 咱员园暂 杂葬皂怎噪葬憎葬 杂袁 允蚤灶灶葬蚤 月袁 韵凿葬 云袁 酝燥则蚤皂燥贼燥 再 圆园园苑 允责灶援 允援 粤责责造援 孕澡赠泽 源远 蕴远源 咱员员暂 郧燥怎 云袁 郧造藻藻泽燥灶 酝 粤袁 运造藻赠灶 粤 宰 圆园园苑 杂怎则枣援 杂糟蚤援 远园员 苑远 咱员圆暂 运燥造枣泽糟澡燥贼藻灶 粤 宰袁 匀葬则蚤灶早 砸 粤袁 匀葬则蚤灶早 粤袁 灾则蚤藻泽 粤 耘 员怨愿源 允援 粤责责造援 孕澡赠泽援 缘缘 猿愿员猿 咱员猿暂 粤早则葬憎葬造 粤袁 月怎贼藻则葬 砸 耘袁 宰藻葬增藻则 允 匀 圆园园苑 孕澡赠泽援 砸藻增援 蕴藻贼贼援 怨愿 员猿远员园源 咱员源暂 酝葬贼藻则藻则 晕袁 郧燥燥凿皂葬灶 砸 杂袁 蕴藻燥灶藻 杂 砸 圆园园园 允援 孕澡赠泽援 悦澡藻皂援 月 员园源 猿圆远员 咱员缘暂 韵澡贼葬 匀袁 匀葬皂葬早怎糟澡蚤 杂 圆园园员 允援 悦澡藻皂援 孕澡赠泽援 员员缘 远远苑怨 咱员远暂 匀葬灶泽燥灶 阅 耘袁 运则藻泽泽 允 阅袁 灾燥贼藻则 粤 云 员怨怨怨 允援 悦澡藻皂援 孕澡赠泽援 员员园 缘怨愿猿 咱员苑暂 匀怎皂遭蚤则凿 阅袁 郧则葬增藻泽 阅 月 圆园园源 允援 粤责责造援 孕澡赠泽援 怨远 苑怨员 咱员愿暂 月葬则燥灶藻袁 砸燥遭蚤灶泽燥灶袁 郧则葬增藻泽 员怨怨远 陨耘耘耘 栽援 孕造葬泽皂葬援 杂糟蚤援 圆源 苑苑 咱员怨暂 韵澡贼葬 匀袁 匀葬皂葬早怎糟澡蚤 杂 圆园园员 允援 灾葬糟援 杂糟蚤援 栽藻糟澡灶燥造援 粤 员怨 圆猿苑猿 咱圆园暂 再葬灶 悦袁 蕴俟 匀 云袁 在澡葬灶早 悦袁 在澡葬灶早 匝 再 圆园园远 粤糟贼葬 孕澡赠泽援 杂蚤灶援 缘缘 员猿缘员 渊蚤灶 悦澡蚤灶藻泽藻冤 咱严摇 超尧吕海峰尧张摇 超尧张庆渝 圆园园远 物 理学报缘缘 员猿缘员暂 咱圆员暂 允蚤葬 在 酝袁 再葬灶早 郧 匝袁 悦澡藻灶 在 晕袁 蕴蚤怎 载 匀袁 在澡燥怎 杂 悦 员怨怨源 粤糟贼葬 孕澡赠泽援 杂蚤灶援 源猿 员愿园怨 渊蚤灶 悦澡蚤灶藻泽藻冤 咱 郏正明尧杨根庆尧程兆年尧 柳襄怀尧邹世昌 员怨怨源 物理学报 源猿 员愿园怨暂 咱圆圆暂 阅葬蚤 再 月袁 杂澡藻灶 匀 杂袁 在澡葬灶早 在 酝袁 匀藻 载 悦袁 匀怎 载 允袁 杂怎灶 云 匀袁 载蚤灶 匀 宰 圆园园员 粤糟贼葬 孕澡赠泽援 杂蚤灶援 缘园 圆源源 渊蚤灶 悦澡蚤灶藻泽藻冤 咱戴永兵尧 沈荷生尧张志明尧何贤昶尧胡晓君尧孙方宏尧莘海维 圆园园员 物理 学报缘园 圆源源暂 咱圆猿暂 匀葬灶泽燥灶 阅 耘袁 灾燥贼藻则 粤 云袁 运则藻泽泽 允 阅 员怨怨苑 允援 粤责责造援 孕澡赠泽援 愿圆 猿缘缘圆 咱圆源暂 郧燥怎 云袁 运造藻赠灶 粤 宰袁 郧造藻藻泽燥灶 酝 粤 圆园园愿 陨灶贼援 砸藻增援 孕澡赠泽援 悦澡藻皂援 圆苑 圆圆怨 咱圆缘暂 杂憎燥责藻 宰 悦袁 粤灶凿藻则泽藻灶 匀 悦袁 月藻则藻灶泽 孕 匀袁 宰蚤造泽燥灶 运 砸 员怨愿圆 允援 悦澡藻皂援 孕澡赠泽援 苑远 远猿苑 咱圆远暂 匀怎皂遭蚤则凿 阅袁 郧则葬增藻泽 阅 月 圆园园源 允援 悦澡藻皂援 孕澡赠泽援 员圆园 圆源园缘 咱圆苑暂 粤遭则葬皂泽 悦 云袁 郧则葬增藻泽 阅 月 员怨怨怨 允援 粤责责造援 孕澡赠泽援 愿远 缘怨猿愿 咱圆愿暂 月藻则藻灶凿泽藻灶 匀 允 悦袁 孕燥泽贼皂葬 允 孕 酝袁 郧怎灶泽贼藻则藻灶 宰 云袁 阅蚤晕燥造葬 粤袁 匀葬葬噪 允 砸 员怨愿源 允援 悦澡藻皂援 孕澡赠泽援 愿员 猿远愿源 咱圆怨暂 匀藻则皂葬灶 陨 孕袁 阅燥灶灶藻造造赠 灾 酝袁 悦澡藻灶早 悦 悦袁 郧怎蚤灶灶 运 灾 员怨怨远 允责灶援 允援 粤责责造援 孕澡赠泽援 猿缘圆源员园
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