Afnamerapport van een Zeiss WMM 850 3D-meetmachine : eigendom van UCN BV, Almelo

(1)

Afnamerapport van een Zeiss WMM 850 3D-meetmachine :

eigendom van UCN BV, Almelo

Citation for published version (APA):

Schellekens, P. H. J., & Sonnemans, H. G. (1988). Afnamerapport van een Zeiss WMM 850 3D-meetmachine : eigendom van UCN BV, Almelo. (TH Eindhoven. Afd. Werktuigbouwkunde, Vakgroep Produktietechnologie : WPB; Vol. WPA0660). Technische Universiteit Eindhoven.

Document status and date: Gepubliceerd: 01/01/1988 Document Version:

Uitgevers PDF, ook bekend als Version of Record Please check the document version of this publication:

• A submitted manuscript is the version of the article upon submission and before peer-review. There can be important differences between the submitted version and the official published version of record. People interested in the research are advised to contact the author for the final version of the publication, or visit the DOI to the publisher's website.

• The final author version and the galley proof are versions of the publication after peer review.

• The final published version features the final layout of the paper including the volume, issue and page numbers.

Link to publication

General rights

Copyright and moral rights for the publications made accessible in the public portal are retained by the authors and/or other copyright owners and it is a condition of accessing publications that users recognise and abide by the legal requirements associated with these rights. • Users may download and print one copy of any publication from the public portal for the purpose of private study or research. • You may not further distribute the material or use it for any profit-making activity or commercial gain

• You may freely distribute the URL identifying the publication in the public portal.

If the publication is distributed under the terms of Article 25fa of the Dutch Copyright Act, indicated by the “Taverne” license above, please follow below link for the End User Agreement:

www.tue.nl/taverne Take down policy

If you believe that this document breaches copyright please contact us at: openaccess@tue.nl

(2)

Afll8llerapport van een Zeiss WMM S50 3D-meetlllB.Chlne.

elgendom van tJ'(Jf BV. Almelo.

Rapportnr.:

IPA

0660. december 1988.

P.H.J.

Schellekens H. G. Sonnemans

(3)

-I_

Inleiding

In dit rapport zijn de gegevens vastgelegd van a£name-metingen verricht aan

een Zeiss WMM portaal-meetmachine geinstalleerd bij de Centrale Meetkamer van

UCN BV te Almelo.

De

metingen zijn uitgevoerd volgens een meetplan en meetprocedures. opgesteld

in het Laboratorium voor Geometrische Meettechniek van de TU Eindhoven.

De

meetprocedures zijn conform het concept-plan voor afnameprocedures

~etmachines

zoals dat thans in discussie is binnen de Nederlandse

Kalibratie Organisatie.

Het meetplan voIgt de aanbevelingen zoals deze zljn vastgelegd in VOl 2617.

De

afnamemetingen zijn ui tgevoerd door elgen personeel van UCN onder

begeleiding van

TU~Eindhoven.

De

a£name is uitgevoerd via meting van de basis-bronnen van afwijkingen.

terwijl daarnaast extra metingen zijn uitgevoerd om effecten van eindige

stijfheld van de machine te analyseren. Tenslotte zijn metingen verrlcht om de

Invloed van het tastsysteem vast te leggen

Uit de resultaten van de deelmetingen Is de onnauwkeurigbeid geschat voor ID.

2D en 3D-metingen waarbij er van uitgegaan is dat de deelresultaten

(4)

2.

Bet .aetp!an

2.1 InleidiJK

De

meetmachine bezi t de meetassen X. Y en Z met de volgende meetbereiken: X-as: 750 DID.

Y-as: 750 DID. Z-as: 450 DID.

De

3D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens: L

6L ~ (5

+

100 )

J.UD

Voor de ID-metingen is deze opgegeven als: L

6L ~ (3.6 +

100 )

J.UD (grootste komparatorfout)

L

6L ~ (2.5 +

100 )

J.UD (kleinste komparatorfout) Hierbij is L steeds de meetlengte in am.

Zoals reeds is opgemerkt zijn deelmetingen ui tgevoerd om daarmee de grootte van de diverse foutenbronnen vast te leggen.

De

volgende meetinstrumenten en meetmiddelen zijn blj deze metingen ingezet:

- HP-Iaserinterferometer type 5526A.

- autocollimator. dubbelassig. fabrikaat HUger-Watts met spiegel. - elektronische waterpassen-set met levelmeter. labrikaat IYler. - eindmaat 4 DID, pasring 17 am en kaltbratiekogel van 30 DID

- hoekhaak 450M250 DID • fabrikaat Jlahr

- verplaatsingsopnemers fabrikaat Jlahr

-Voor bovenstaande meetinstrumenten wordt naar verwachUng op korte termijn door de NKO san

uc::::N

een erkenning voor het verrichten van kalibraties

afgegeven.

De

autocollimator is eigendom van lU-Eindhoven en val t onder erkenni:ng NK0-014.

De

meetmiddelen eindmaat. pasri:ng en kogel vallen hierbuiten maar zijn aIleen voor specifieke metingen ingezet.

(5)

-2.2

Overzicht 'RIl bet .eetp~

In het uiteindelijk uitgevoerde meetprogramma zijn een groat santal

deelmetingen uitgevoerd die zijn onder te verdelen in de volgende

hoofdgroepen:

*

Translatie-afwijkingen 6fij met i.j

=

X. Y. Z

De

afwijkingen 6fii zijn bepaald tegen de laser interferometer terwijl de de

afwijkingen 6fij met iJl!j met de rechtbeidsoptie van de laser-interferometer

zijn bepaald met uitzondering van 6Txz en 6Tyz welke via rechtheidsmeting

tegen de hoekhaak zijn gemeten.

*

Rotatie-afwijkingen 6.Rij

De

rotatie-a£wijkingen 6.Rij met iJl!j zijn gemeten met de autocollll1Btor of

met een elektronisch waterpas: sommlge metingen zijn dubbel uitgevoerd

waarbij vergelijking tussen de meetresultaten is uitgevoerd. De

autocollillBtor is gebruikt in bet meetgebied waar de systeDBtische

afwijkingen klein zijn. De rotatiea£wijkingen 6Rxx en

6Ryy

zijn met het

elektronisch waterpas gemeten. 6.Rzz is gemeten via twee rechtheidsmetingen

tegen een zijde van de hoekhaak. De rota ties

6Rxz

en

6.Ryz

zijn gemeten met

het elektronisch waterpas via gebruik van een extra meetplateau gemonteerd

tegen de onderkant van de

Z--a&.

*

Haaksheidsafwijkingen BSij

Deze drie a£wijkingen zijn gemeten met de meetllBChine tegen de hoekhaak die

daarbij als referentie is gebruikt.

Het gedrag van bet tastsysteem is geanalyseerd via meting van een kleine

eindnBat (ID). een ring (2D) en een kogel (3D).

(6)

~.

IesultateD

De

meetresultaten van de deelmetingen zijn uitgebreid weergegeven in de

bijlagen via numerieke en gratiscbe presentatie. Er zij bier

DOg

vermeld dat

een aantal gegevens

DB.

bermeting met een ander instrument zijn verkregen.

Hierna wordt een samenvatting van de belangrijkste aeetresultaten gegeven.

waarbiJ de bovengrenswaarde van de bijbeborende systematiscbe afwijking is

vermeld.

Translatieafwijkingen

1. 6fxx ~ 2.0 JlID

2. 6fyx ~ 2.6 JlID.

3. 6fzx ~ 1.4 JlID.

4.

6fyy ~

2.5

JlID.

meting

op

kleinste komparatorpositie

5.

6fyy ~

2.8

JlID.

meting op grootste komparatorposi tie

6. 6fxy ~ 0.8 JlID 7.

orzy

~ 1.2 JlID.

8. orzz

~

2.8

JlID. 9. 6fxz ~ 1.8 JJID 10. 6fyz ~ 4.0 JlID

Rotatieafwijkingen:

11. 6Rxx ~ 0.4 ..

12.

ORyx ~

2.8 ".

13.

6Rzx ~ 2.2 ..

-

(7)

5-14. 6Ryy

~

0.2 ..

15.

6Rxy ~

1.8 ..

16.

6Rzy ~

1.4 ..

17.

6Rzz ~

3.5 ..

18.

6Rxz ~

0.3 ..

19.

6Ryz ~

3.4 ..

Haaksbeidsafwijkingen:

20.

6Sxy ~

1.8 ".

6Sxz ~

1.8 ".

6Syz ~

1.0 ..

21. Controle van bet tastsysteem.

De

afwijkingen t.g.v. bet tastsysteem bij meting in

1D. 2D

en

3D

1D:

x -

as

Tx

<

1

~

y-as Ty~l~

z - as Tz

<

1 ~

2D

x -

y

v

lak

T 2d

<

1

~

(8)

Zoals eerder Is vermeld wordt de onnauwkeurlgheid apart gespecificeerd voor ID

en 3D.

Ui t de resul taten van de deelmeUngen

is

een

WVdrreQ!

voor de

onnauwkeurigheden geschat op basis van voortplanting van afwlJklngen waarbij

de afwljkingen onderling als onafhankelijk en onbekend systematisch zijn

beschouwd.

De

bovengrens uit de deelmeUngen wordt hierbiJ als R-waarde

beschouwd (

span ).

If

ID-meetonnauwkeurigheid.

Bet betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen langs deze aasen.

2D-meetonnauwkeurigheid.

Bet betreft de onnauwkeurigheld blj lengtemeUngen in een vlak.

X-Y vlak. met llElXimale meetlengte L .

xy

J

r---..'

X

2 Y

2

2 ....

6Lxy

=

(r'6X)

+

(L'6Y)

+

_{2(T2d) •}

Lxy ,.,

1061

1IIIl.

""

6Lxy

~

6.2

~.

X-Z vlak. met llElXimale meetlengte L .

xz

J

I

....

X

2 Z

2

2 ....

6Lxz

=

(L'

6X)

+

(L'

6Z)

+

_{2(T2d) •}

Lxz ""

875 1IIIl.

Y-Z vlak. met 1lElX1male meetlengte L .

_yz

....

Jr-Y----2----Z----2---2~'

....

6Lyz

=

(Lo6Y)

+

(L'6Z)

+

_{2(T2d) •}

Lyz""

8751111l.

6L

~

4.4

~.

yz

(9)

-*

3D-meetonnauwkeurigheid.

Bet betreft bier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen in bet meetvolume.

X. Y. Z-ruimte

6Lxyz

=

J

(~.

6X)2

+

(t-

M)2

+

(~.

6Z)2

+

2(T 3d)2 i. Lxyz

~

1152 l1li1 •

....

(10)

5. Cuoclusles

Ten sanzien van de deelmettngen

lean

gesteld worden dat geen van de

aiwljklngsbronnen extreem grote aiwljklngen vertoont.

Relatlei groot zijn de volgende a£wijkingen:

lITyx • lITyz • 6Ryx • 6Ryz'

Geen van de aiwijkingen is echter zodanig groot dat hiermee specificaties

worden overschreden. Samenvattend

lean

bet volgende worden gekonkludeerd:

lowel

6L • 6L

_x

alB

6L

vallen binnen de specificattes. opgegeven a1s:

y

z

L

6L_{x '} 6L_y ~ (3.6

+

100 ) J.UI1 met L

in

DIll. 6L

_z

~

(2.5

+

I~)

J.UI1 met L

in

III

~tonna1J'wkeu.rIWid:

Geen opgave aanwezig.

3'l)-.eetonnmnrkeurlg'heid:

De

3D-meetonnauwkeurigheid

6L _xyz

valt binnen de specificaties.

opgegeven als:

L

6Lxyz ~ (5

+

100 ) J.UI1 met L

in

DIll.

(11)

-6. BU1agen: Weetresultaten

Hterna worden de aeetresultaten van de deelmetingen gegeven met de

bijbehorende grafische representaties.

Allereerst volgen de rotatiemetingen Rij. uitgevoerd op gelijke interval len

langs de assen. lowel de resultaten van de heen- als de retourmeting en

gemiddelde zijn gegeven.

In de bijbehorende grafieken zijn deze drie rijen resultaten eveneens

weergegeven.

De

tweede set resultaten betreft de tr.anslatiemetingen Tij Ook hier zijn weer

heen-. retour- en gemiddelde meetresultaten gepresenteerd.

De

resultaten van de baaksheidsmetingen zijn daarna opgenomen evenals de

metingen uitgevoerd ter controle van het tastsysteem.

(12)

ZEISS WMM850 Type meting: Rxx Meetmiddel: el.waterpas Eenheid: microm./m Meetposities Aflezing UCN ALMELO Meetpositie XI y= z: waterp. Aflezing

o

waterp.

langs in microm./m in microm./m

X-AS HEEN TERUG

5

4

3 .

2 u

v

[/) (J)

1

.0 C

.

-C

0 v

(J)

c

.-

~

-1

:='

~ '+-0

_-2

-3

-4

-5

o

WMN1 850

LJCN

A.LrVlELC'.

Rt:XX Meetinstr:·el. waterp. Datu m: 1 01088

.I::L

--

,..,..--....

200

~

fI-400

X-AS

.. =..

...

--·fJ ~

600 ...

...

~

....

800

(14)

ZEISS WMM850 Type meting: Ryx

Meetmiddel: el.waterpas Eenheid: microm./m UCN ALMELO Meetpositie x: y: ZI

o

300 400

Meetposities Aflezing waterp. A'flezing waterp.

langs X-AS (),32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,8 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,5 700,55 750,64 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,8 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,5 700,55 750,64 in microm./m HEEN 24 25 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 34 35 :!.6 37 Afwijkingen beginwaarde in bgsec. 0,0 0,2 CI,3 0,5 0,6 0,9 1,1 1,3 1,6 1,8 1,9 2,1 2,1 2,3 2,4 2,8 in microm./m TERU6 24 25 26 27 27 29 30 31 33 34 34 35 35 36 36 39 Datum: 171098 Afwijking in bgsec. GEMIDDELD 4,8 5 5,1 5,3 5,4 5,7 5,9 6,1 6,4 6,6 6,7 6,9 6,9 7,1 7,2 7,6

(15)

.

u

II) r.? (J) ..0 C

.-5

4-.3

2

1 c

0

II) (J)

c

~

-1

:=-~

...

o

-2

-.3

-4

-5

-~

o

Rt:YX Meetinstr:.el.woterp.Dotum: 171088

.J:~ r

--r~

~

-t

~

200

400 X-AS (y=.300

z=400).

...

,...

600 ....

V

_r'

.

800

(16)

ZEISS

WMM850 UCN ALMELO

Type meting: Ryx Meetpositie x:

°

300 Datum: Meetmiddel: autocollimabor y: Eenhei d = bgsec. Z J 400 Meetposities langs

X-AS

(),32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,8 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,5 700,55 750,64 Meetposities in mm langs

X-AS

0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,8 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,5 700,55 750,64

..

Aflezing autocoll.Aflezing autocoll.Afwijking

in bgsec. in bgsec. in bgsec.

HEEN TERUG GEM I DDELD

3 2,5 2,3 2,1 2,1 1,9 1,6 1,6 1,6 1 , 1 1,1 1 0,8 0,8 0,2

°

Afwi jkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 -0,4 -0,6 -0,8 -0,9 -1,1 -1,3 -1,4 -1,5 -1,8 -1,8 -2,0 -2,2 -2,2 -2,7 -2,9 2,7 2,4 2,1 2 1,8 1,6 1,5 1,3 1 ,1 1 1 0,8 0,6 0,6 0,2

°

2,85 2,45 2,2 2,05 1,95 1,75 1,55 1,45 1,35 1,05 1,05 0,9 0,7 0,7 0,2

o

171088

(17)

5

4

3 .

2

() \I) (I) Q')

1

.0 C

.-C

0

\I) Q')

c

..

~

:52

-1

'--"

.-

_::

...

0

_-2

-3

-4

-5

o

wrv1~\.~

85() UCN

AL~1ELO

Rt:YX "".1eetinstr: outocoll. Dotum:171 088

~ ~ , / "

I

200

~:t.

_.,

~

_...

400 X-AS

(y=300

z=400).

- . Q .

600 ~

_~

800

(18)

ZEISS WMM850 UCN ALMELO

Type meting: Rzx~eetpositie x:

°

300 Datum: Meetmiddel: autocollimator y: Eenheid:bgsec. z: 400 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41-150,05 200,82 250,8 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,5 700,55 750,64 Meetposities in mm langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,8 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,5 700,55 750,64

Aflezing autocoll.Aflezing autocoll.Afwijking

HEEN TERUG GEMIDDELD

5 5 5 5 4,9 4,6 4,5 4,4 4 4 3,7 3,7 3,4 3,2 3 2,8 Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 0,0 0,0 0,0 -0,2 -0,4 -0,6 -0,7 -1,1 -1,1 -1,3 -1,3 -1,6 -1,7 -2,0 -2,1 4,8 4,9 4,8 4,9 4,8 4,9 4,8 4,9 4,6 4,75 4,4 4,5 4,1 4,3 4,1 4,25 3,6 3,8 3,6 3,8 3,6 3,65 3,6 3,65 3,2 3,3 3,2 3,2 2,8 2,9 2,8 2,8 171088

(19)

W~/1~;1

85(J UCN

lL\LMELO

Rt:ZX tv'1eetinstr: qutocoll. Dotum: 171 088

5 .

4

-

,-3

.

2 u

II) fI) Q')

1

.0 C

.-C

0

II) Q') I-t

....

_....

n

-

- ;

!--s--

...

c

.-

.:::f.

-1

~

!=' ?:

"f-a

_-2

-

...

~

....

-=----.

""t:J

-3

-4

-5

o

200

400

600

800 X-AS (y=300

z=400).

(20)

ZEISS WMM850 Type meting: Ryy

Meetmiddel: el.waterpas Eenheid: microm./m UCN ALMELO M!!!etpositie x: y: z: (I

°

o

Meetposities Aflezing waterp. Aflezing waterp.

Rt:y'y'''

Meetinstr:f~l.wqterp.Dqtum:1

01088

5

4

~

3 .

2 u

Q)

rn

0>

1

.0 C

.-C

0

Q)

...

....

_-

-

....

:.J 0> C

:i:

-1

:=-:=

'+-a

_-2

-3

-4

-5

o

200

400

600

800 Y - AS

(x=

0 z=

0) .

(22)

ZEISS WMM850

UCN

ALMELO

Type meting: Rxy Meetpositie x: 300

°

400

DatLlm:

Meetmi ddel: aLltocoll i mat~r .. y:

Eenheid:bgsec. z: Meetposities langs V-AS 0,53 5(1,56 100,43 150,42 200,63 250,83 300,5 350,55 400,92 450,24 500,79 550,78 600,8 650,59 700,48 Meetposities in mm V-AS 0,53 50,56 100,43 150,42 200,63 250,83 300,5 350,55 400,92 450,24 500,79 550,78 600,8 650,59 700,48

Aflezing aLltocoll.Aflezing aLltocoll.Afwijking

1,8 1,8 1,3 1,3 1,2 1 0,8 0,8 0,8 0,8 0,6 0,6 0,5 0,5

o

Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 -0,1 -0,4 -0,5 -0,7 -0,8 -0,9 -0,9 -1,0 -1,0 -1,2 -1,2 -1,4 -1,4 -1,8 1,8 1,6 1,4 1,3 1 1 1 1 0,8 0,8 0,6 0,6 0,4 0,4

o

1,8 1,7 1,35 1,3 1,1 1 0,9 0,9 0,8 0,8 0,6 0,6 0,45 0,45

°

171088

(23)

\A/M~1

850 UCN ALMELO

Rt:XY Meetinstr: Qutocoll. Dqtum:171 088

5

4 .

.3

.

2 u

v

(I) 0:.

1

..0

e

.-e

0 v

0:.

e

.

_..!i

-

_-1

::='

~tL

...

~::L ~

....,

....

...

---

_-=

_....

3: "4-0

_-2

~u

-3

-4

-5

a

200

400

600

800 Y-AS (::<=300 Z= 400).

(24)

ZEISS WMM850 Type meting: Rxy

Meetmiddel: el.waterpas Eenheid: microm./m Meetposities Aflezing UCN ALMELO Meetpositie x: y: z: waterp. Aflezing 300

°

400 waterp.

langs in microm./m in microm./m

V-AS 0,53 50,56 100,43 150,42 200,63 250,83 300,5 350,55 400,92 450,24 500,79 550,78 600,8 650,59 700,48 Meetposities in mm V-AS 0,53 50,56 100,43 150,42 200,63 250,83 300,5 350,55 400,92 450,24 500,79 550,78 600,8 650,59 700,48 HEEN

°

-1 -2 -.::.. -4 -4 -4 -5 -5 -7 -7 -7 -8 -9 -1O Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec:. 0,0 -0,2 -0,4 -0,7 -0,9 -1,0 -1,0 -1,2 -1,2 -1,5 -1,5 -1,6 -1,7 -1,9 -2,1 TERUG 1

°

-1 -3 -4 -5 -5 -6 -6 -7 -7 -8 -8 -'7 -10 Datum: 171088 Afwijking in bgsec. GEMIDDELD 0,1 -0,1 -0,3 -0,6 -0,8 -0,9 -0,9 -1,1 -1,1 -1,4 -1,4 -1,5 -1,6 -1,8 -2

(25)

\j\/tv1~~

850 UCN

AL~l1ELO

5 Rt:XY Meetinstr:·el.wqterp.Dqtum:171 088

4

r

3

•

2 u

Qi Ii') Q')

1

..Q C

.-C

0

Qi Q') C

.-

~

-1

:=-~

~~

...

_....

_ _ ..r-. ~ ~ ~ ~ '+-0

_-2

"It---e....

iJ

-3

-4

-5

o

200

400

600

800 V-AS (x=300 z= 400).

(26)

Type meting; Rzy Meetpositie x:

Meetmiddel: autocollimator y: Eenheid:bgsec. z: 300

o

400 Datum: Meetposities

langs Aflezing autocoll.Aflezing autocoll.Afwijking

V-AS (',53 50,56 100,43 150,4·2 200,63 250,83 300,5 350,55 400,92 450,24 500,79 550,78 600,8 650,59 700,48 750,04 Meetposities in mm V-AS 0,53 50,56 100,43 150,42 200,63 250,83 300,5 350,55 400,92 450,24 500,79 550,78 600,8 650,59 700,48

1,4 1,4 1,4 1,2 1 1 0,8 0,8 0,8 0,6 0,4 0,2 0,2 0,2 0,2 Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 0,0 0,0 -0,3 -0,5 -0,5 -0,6 -0,6 -0,7 -0,8 -1,0 -1,2 -1,3 -1,3 -1,3 1,3 1,35 1,3 1,35 1,3 1,35 1 1,1 0,7 0,85 0,7 0,85 0,7 0,75 0,7 0,75 0,5 0,65 0,5 0,55 0,4 0,4 0,2 0,2

°

(I, 1

°

0,1 (I _0,1 181088

(27)

V\/~;1~.~

850 UCN

AL~~ELO

Rt:ZY Meeti nst r:

(l

utocoll. Dqtum: 1 81 088

5

4

r

3 .

2 u

It) U) Q)

1 ..c

c

.-c

0

It) Q) M 1

....

~

...

_...

c

-

,..,

.-

~

-1

:='

~

-

....

...

s:

'+-0

_-2

-3

-4

-5

o

200

400

600

800 Y-AS (x=300 z= 400).

(28)

Type meting: Rzz Meetpositie x:

Meetmiddel:hoekpl./tasters y:

Eenheid: microm. z:

Meetposities Taster 3 Taster

langs microm. microm.

Z-AS HEEN HEEN

0,43

°

50,12 1 100,3 3 150,61 4 200,78 4 250,02 4 300,82 4 350,69 4 400,29 4 450,36 :5

Meetposities Taster 3 Taster

langs microm. microm.

Z-AS TERUG TERUG

0,43 -1 50,12

°

100,3 2 150,61 3 200,78 4 250,02 4 300,82 4 350,69 4 400,29 4 450,36 :5 5

°

2 4 5 6 6 6 6 6 6 5

°

1 3 4 :5 6 5 :5 :5 6 300 300 450

Meetposities Hoekafwijking Hoekafwijking

langs in bgsec:. in bgsec:

Z-AS GEMIDDELD t.o.v. NULSTAND

0,43 0,4 0,0 50,12 0,9 0,4 100,3 0,9 0,4 150,61 0,9 0,4 200,78 1,3 0,9 250,02 1,7 1,3 300,82 1,3 0,9 350,69 1,3 0,9 400,29 1,3 0,9 450,36 0,9 '0,4 Datum: 131088 Hoekafw. in bgsec. HEEN 0,0 0,9 0,9 0,9 1,7 1,7 1,7 1,7 1,7 0,9 Hoekafw. in bgsec. TERUG 0,9 0,9 0,9 0,9 0,9 1,7 0,9 0,9 0,9 0,9

(29)

\f\/rv1,,/1 8::)0

LJC~~ I~LMELO.

Rt: ZZ Meetinstr:

hoekpl/t.~st.

Dot: 1 31

08f3

5

4

r

3 .

2 u

4.) (/) Q)

1

..0 C

.-C

0 ~

~

:r

_~b

---r' 4.) 0'> C

:.;:

-1

:=-~ '+-0

_-2

-3

-4

-5

o

100

200

300

400

500 Z-AS (x=300 y=300)

(30)

ZEISS WMM850 Type meting: Rxz Meetmiddel: el.waterpas Eenheid: microm./m UCN ALMELO Meetpositie x; y: z: 300 300

°

Meetposi ti es Aflezing waterp. Aflezing waterp. langs Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36

,

in microm./m HEEN 2 1 1 3 2 2 2 1 1 1 Afwijkingem beginwaarde in bgsec:. 0,0 -0,3 -0,2 0,2 0,0 -0,1 0,0 -0,2 -0,2 -0,2 in mic:rom./m TERUG 2

°

1 3 2 1 2 1 1 1 Datum: 141088 Afwijking in bgsec. GEMIDDELD 0,4 0,1 0,2 0,6 0,4 0,3 0,4 0,2 0,2. 0,2

(31)

\VMtv1 850 L)CN

AL~\/1ELO.

Rt:Xl Meetinstr:,el.woterp.Dotum:1 4-1088

5

4

.~

3 .

2 u

It> fI) ~

1

...Q C

.-C

0

It> j~

••

:L

.---

I-. n

---

::v- I-' ~ C ~

-1

.

....,.

.-

_3:

'+-0

_-2

-3

-4

-5

o

100

200

300

400

500 Z-AS (x=300 y=300)

(32)

Type meting: Rxz ~~etpositie x:

Meetmiddel: autocollimator y: Eenhei d: bgsec:. Z I 300 300

°

Datum: Meetposi ti es langs

Aflezing autocoll.Aflezing autocoll.Afwijking Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36

28 28 28 27,6 27,6 27,8 27,8 27,8 27,7 27,7 Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 0,0 0,0 -0,4 -0,4 -0,2 -0,2 -0,2 -0,3 -0,3 28 28 28 28 28 28 27,6 27,6 27,6 27,6 27,8 27,8 27,8 27,8 27,8 27,8 27,8 27,75 27,8 27,75 141088

(33)

vv/M~~

850 UCN

~\L~I1ELO

Rt:XZ Meetinstr:

ql.Atoccll.

Dqtt'm: 141088

5

4

.. " "

3 .

2 u

10

rn

IJ)

1

..Q

e

.-e

0

10 IJ)

----...

h 1-,

-

i-' I-'

".

e

.-

~

-1

."'""\

.-

_3!: I+-0

_-2

-3

-4

-5

o

100

200

300

400

500 Z-AS (x=300 y=300).

(34)

Type meting: Ryz Meetpositie XI

Meetmiddel: autocollimator y: Eenhei d I bgsec. z: 300 300

°

Datum: Meetposities langs

Aflezing autocoll.Aflezing autocoll.Afwijking Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36

52,4 52 51,6 51,2 50,7 50,4 50,2 49,5 49,5 49,5 Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 -0,3 -0,8 -1,2 -1,7 -2,1 -2,3 -2,9 -2,9 -2,9 • 52,4 52,4 52,2 52,1 51,5 51,55 51,2 51,2 50,6 50,65 50,2 50,3 50 50,1 49,4 49,45 49,5 49,5 49,5 49,5 141088

(35)

WI\~I\.~

850 UC~~ AL~1ELO

Rt:YZ Meeti nstr: a utoco II. D<ltum: 1 4·1 088

5

4

~

3 .

2 u

1'0 fI) (J)

1

...Q C

.-C

0

IlJ (J)

c

:i:

_...

-1

.

-~

400

500 '7.-AS (x=300 y=300).

(36)

ZEISS WMM850 Type meting: Ryz

Meetmiddel: el.waterpas Eenheid: microm./m UCN ALMELO M\i!etposi t i e x : y: z: 300 300

o

Meetposities Aflezing waterp. Aflezing waterp.

langs Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities l.::mgs Z-AS 0,43 50,12 100,3 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 in microm./m HEEN 0 2 4 ,6 8 11 14 16 17 17 Afwijkingen t.o.v. beginwaarde in bgsec. 0,0 0,4 0,9 1,3 1,7 2,2 2,8 3,2 3,4 3,3 in microm./m TERUG 0 2 5 7 9 11 14 16 17 16 Datum: 141088 AfwUking in bgsec:. GEMIDDELD

°

0,4 0,9 1,3 1,7 2,2 2,8 3,2 3,4 3,3

(37)

\NMrv1 850 UC"J

AL~v1ELO.

Rt:YZ Meetinstr:.el.vvoterp.Datum:141 088

5

4

3 .

2 u

IV en (1)

1

..0 C

.-C

0

~

lP

..--i ~

V

~. ~

~

~y---~

~

~~

IV (1) C ~

-1

:=-~

...

0

_-2

-3

-4

-5

o

100

200

300

400

500 Z -AS

(x=

300 y=

400)

(38)

ZE I SS WMI't850 UCN ALMELO

Type meting: Txx Meetpositie XI

°

300

Meetmi ddel: 1 aseri nt. y:

Eenheid: micrometers. z: 450 Machine in mm. X-AS HEEN 0,322 50,626 100,416 150,056 200,825 250,807 300,965 350,724 400,747 450,097 500,057 550,156 600,283 650,507 700,557 750,642 Machine in mm. X-AS TERUG 0,321 50,622 100,412 150,052 200,823 250,802 300,963 350,721 400,746 450,099 500,056 550,154 600,285 650,505 700,555 750,640 Aflezing Iiilser in mm. HEEN 0,3220 50,6262 100,4162 150,0562 200,8255 250,8072 300,9649 350,7255 400,7495 450,0984 500,0570 550,1583 600,2850 650,5085 700,5586 750,6444

Aflez ing laser in mm. TERUG 0,3214 50,6234 100,4121 150,0539 200,8252 250,8031 300,9647 350,7239 400,7474 450,1009 500,0569 550,1555 600,2863 650,5072 700,5568 750,6419 Verschil in micrometers HEEN 0,0 0,2 0,2 0,2 0,5 0,2 -0,1 1,5 2,5 1,4 0,0 2,3 2,0 1,5 1,6 2,4 Verschil in microm. TERUG 0,4 1,4 0,1 1,9 2,2 1,1 1,7 2,9 1,4 1,9 0,9 1,5 1,3 2,2 1,8 1,9 Datum: 191088 Temp.meting=20.7 C 8emiddelde in microm. HEEN-TERUG 0,2 0,8 0,1 1,0 1,4 0,7 0,8 2,2 2,0 1,7 0,5 1,9 1,6 1,9 1,7 ·2,1

(39)

~ I'f.1 L... !C •

...

!c.

E

e

.!:2

E

c

.-c

II> I:;:;)

c

:i:

.~

.-

_~ '+-0

ZEISS

\I\/f\~M

850 UCN

ALr\~ELO

Tr:XX Meetinstr:loser.Dotum:191 088

3~----~----~----~~~--~----~----~----~----~

2

1

0 -1

-2

-3~----~---+----~~----~----+---r---+----~

o

200

400 X-AS

600

800

(40)

ZEISS WMM850 UCN ALMELO Type meti ng; Tyx

Meetmiddel: laser Eenheid: 0.001 mm Meetpositie x: y: %1 (I 300 450 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,80 300,96 350,72 400,74 450,09 500,(15 550,15 600,28 650,50 700,55 750,64 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,80 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,50 700,55 760,64 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,80 300,96 350,72 400,74 450,09 500,(15 550,15 600,28 650,50 700,55' 750,64 A-flezing laser in 0,001 mm. HEEN 0,0 0,2 0,9 1,3 1,6 0,6 0,1 1,0 2,7 2,5 2,6 3,4 4,0 3,1 3,0 3,1 Afwijldng in 0,001 mm. HEEN 0,0 0,2 0,9 1,3 1,6 0,6 0,1 1,0 2,7 2,5 2,6 3,4 4,0 3,1 3,0 3,1 A-fwijking tov begin-eind HEEN 0,00 -0,01 0,49 0,68 0,77 -0,43 -1,14 -0,45 1,05 0,64 0,53 1,13 1,52 0,41 0,11 0,00 Aflezing laser in 0,001 mm. TERUG 0,1 0,3 0,9 1,1 1,7 0,7 0,3 1,2 2,9 2,5 2,8 3,6 4,1 2,9 3,0 3,1 Afwijking in 0,001 mm. TERUG 0,0 0,2 0,8 1,0 1,6 0,6 0,2 1,1 2,8 2,4 2,7 3,5 4,0 2,8 2,9 3,0 Afwijking tov begin-eind TERUG 0,00 -0,00 0,40 0,40 0,80 -0,40 -1,00 -0,30 1,20 0,60 0,70 1,30 1,60 0,20 0,10 0,00 Datum: 101088 Afwi jldng in ,001mm GEMIDDELD 0,00 0,20 0,85 1,15 1,60 0,60 0,15 1,05 2,75 2,45 2,65 3,45 4,00 2,95 2,95 3,05 Afwijking tov begin-eind GEMIDDELD 0,00 -0,00 0,44 0,54 0,79 -0,42 -1,07 .... 0,37 1,12 0,62 0,62 1,21 1,56 0,31. 0,10 0,00

(41)

.

E

oe-0 0

_..

0

c

.-c

v

Q")

c

.-.x

'--" ~

.-

_~

"t-o

ZEISS \AJMM850 UCN ALMELO

Tr:YX

Meetinstr: Loser Datum: 101 088

3~----~----~----~~----~----~----~----~----~

2

1

0 -1

-2

-3~----~---+---~----+---~---+----~----~

o

200

400 . X-AS

600

800

(42)

ZEISS WMM850 Type meting: Tzx Meetmiddel: laser Eenheid: 0.001 mm UCN ALMELO Meetpositie XI y: z:

°

300 450

Meetposities Aflezing laser Aflezing laser

in 0,001 mm. langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,80 300,96 3St) , 72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,50 700,55 750,64 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,80 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,50 700,55 760,64 Meetposities langs X-AS 0,32 50,62 100,41 150,05 200,82 250,80 300,96 350,72 400,74 450,09 500,05 550,15 600,28 650,50 700,55 750,64 in 0,001 mm. HEEN 0,0 -0,2 0,2 0,6 0,0 -1,0 -1,1 -0,9 -1,4 -1,1 -2,0 -2,6 -2,7 -3,2 -4,2 -4,2 Afwijking in 0,001 mm. HEEN 0,0 -0,2 0,2 0,6 <1,0 -1,0 -1,1 -0,9 -1,4 -1,1 -2,0 -2,6 -2,7 -3,2 -4,2 -4,2 Afwijking tcv begin-eind HEEN 0,00 0,08 0,76 1,44 1,12 0,40 0,58 1,06 0,84 1,42 (1,80 0,48 0,66 0,44 -0,28 0,00 TERUG 0,0 0,3 0,0 0,0 0,0 -0,6 -0,7 -0,9 -0,9 -1,3 -1,5 -2,4 -2,8 -3,3 -3,7 -4,2 Afwijking in 0,001 mm. TERUG 0,0 0,3 0,0 0,0 0,0 -0,6 -0,7 -0,9 -0,9 -1,3 -1,5 -2,4 -2,8 -3,3 -3,7 -4,2 Afwijking tcv begin-eind TERUG 0,00 0,58 0,56 0,84 1,12 0,80 0,98 1,06 1,34 1,22 1,30 0,68 0,56 0,34 0,22 0,00 Datum: 101088 Afwijking in ,001mm GEMIDDELD 0,00 0,05 0,10 0,30 0,00 -0,80 -0,90 -0,90 -1,15 -1,20 -1,75 -2,50 -2,75 -3,25 -3,95 -4,20 Afwi j~dng tcv begin-eind GEMIDDELD 0,00 0,33 0,66 1,14 1,12 0,60 0,78 1,06 1,09 1,32 1,05 0,58 0,61 0,39 -0,03 0,00

(43)

3

2 .

E

₁

~ 0 0

..

0

e

₀

.-e

11) {J)

c

.-

_~

-1

:::.'

~

"t-o

-2

-3

ZEISS

W~.~tv1850

UCN

AL~,.~ELO

9 ~

V~

_~~

"

o

200

400 X-AS

'\

600 ~

~/

800

(44)

Type meting: Tyy (K.K.F.> Meetpositie XI 30

°

30

Meetmiddel: laserint. y:

Eenheid: micrometers. z:

Machine Aflezing laser Verschil

in mm. in mm. in micrometers

V-AS HEEN HEEN HEEN

0,532 0,5336 1,6 50,567 50,5684 1,4 100,432 100,4318 -0,2 150,420 150,4199 -0,1 200,638 200,6381 0,1 250,836 250,8360 0,0 300,500 300,5010 1,0 350,551 350,5520 1,0 400,921 400,9219 0,9 450,247 450,2488 1,8 500,796 500,7974 1,4 550,786 550,7874 1,4 600,806 600,8079 1,9 650,596 650,5971 1,1 700,484 700,4861 2,1

in mm. in mm. in microm.

V-AS TERU8 TERU8 TERU8

0,532 0,5338 1,8 50,561 50,5589 -2,1 100,430 100,4297 -0,3 150,422 150,4219 -0,1 200,636 \ 200,6359 -0,1 250,836 250,8343 -1,7 300,503 300,5030 0,0 350,554 350,5541 0,1 400,927 400,9259 -1,1 450,243 450,2441 1,1 500,791 500,7912 0,2 550,782 550,7812 -0,8 600,802 600,8012 -0~8 650,590 650,5889 -1,1 700,481 700,4808 -0,2 Datum: 071088 Temp.meting=20.7 C Gemiddelde in microm. HEEN-TERU8 1,7 -0,4 -0,3 -0,1 0,0 -0,8 0,5 0,6 -0,1 1,5 0,8 0,3 0,5 -0,0 0,9

(45)

.

rI) l-II)

...

II)

E

e

()

.-

_E

c:

.-c:

II) ~

c:

:sz

.

--"

'i

'+-0

ZEISS \A/MN1 850

UCN

ALMELO

Tr:'rY KKF Meetinstr:laser.Datum:071088

3~----~----~----~---~----~----~----~----~

2

1

0 -1

-2

--34---~---+---4---~----+---~----~----~

o

200

400 V-AS

600

800

(46)

Type meting: Tyy (G.K.F.) Meetpositie x: 700

o

700

Meetmiddel: laserint. y:

Eenheid: micrometers. z:

in mm. in mm. in micrometers

V-AS HEEN HEEN HEEN

0,533 0,5323 -0,7 50,565 50,5631 -1,9 100,439 100,4363 -2,7 150,422 150,4203 -1,7 200,632 200,6294 -2,6 250,839 250,8365 -2,5 300,507 300,5034 -3,6 350,553 350,5503 -2,7 400,928 400,9264 -1,6 450,242 450,2402 -1,8 500,792 500,7897 -2,3 550,786 550,7826 -3,4 600,807 600,8031 -3,9 650,598 650,5935 -4,5 700,488 700,4839 -4,1

in mm. in mm. in microm.

V-AS TERUG TERUG TERUG

0,539 0,5368 -2,2 50,569 50,5658 -3,2 100,439 100,4353 -3,7 150,429 150,4263 -2,7 200,634

•

200,6309 -3,1 250,838 250,8342 -3,8 300,506 300,5028 -3,2 350,557 350,5543 -2,7 400,923 400,9210 -2,0 450,243 450,2424 -0,6 500,797 500,7935 -3,5 550,785 550,7813 -3,7 600,807 600,8032 -3,8 650,595 650,5910 -4,0 Datum: 071088 Temp.meting=20.5 C Gemiddelde in mic:rom. HEEN-TERUG -1,5 . -2,5 -3,2 -2,2 -2,8 -3,1 -3,4 -2,7 -1,8 -1,2 -2,9 -3,5 -3,9 -4,3

(47)

3

2

1

·

(I) L.. 11..!' -+-' 11..!'

0 E

E:

t.~

~

~~

600 +

800

(48)

ZEISS WMM850 Type meting: Txy

Meetmiddel: laser Eenheid: 0.0(11 mm Meetposities Aflezing langs _{in 0,001} V-AS HEEN 0,53 0,0 50,56 2,4 100,43 5,1 150,42 7,6 200,63 10,2 250,83 12,8 300,50 15,5 350,55 17,6 400,92 20,3 450,24 23,1 500,79 .25,5 550,78 28,5 600,80 31,1 650,59 33,9 700,48 36,8 UCN ALMELO Meetpositie XI y: z: 300 (I 450 laser mm. Aflezing laser in 0,001 mm. TERUG 0,0 2,6 5,0 7,7 10,1 12,9 15,2 17,7 20,3 23,1 25,5 28,4 31,1 33,8 36,7

Meetposities Afwijking Afwijking

langs _{in 0,001 mm.} V-AS HEEN 0,53 0,0 50,56 2,4 100,43 5,1 150,42 _7,6 200,63 10,2 250,83 _12,8 300,50 15,5 350,55 _17,6 400,92 20,3 450,24 23,1 500,79 25,5 550,78 28,5 600,80 _31,1 650,59 33,9 700,48 36,8 Meetposities Afwijking

langs tOY begin-eind

V-AS HEEN 0,53 0,00 50,56 -0,23 100,43 -0,16 150,42 -0,29 200,63 -0,31 250,83 -0,34 300,50 _-0,27 350,55 -0,80 400,92 -0,73 450,24 -0,56 500,79 -0,79 550,78 -0,41 600,80 -0 44

,

. 650,59 -0,27 700,48 0,00 in 0,001 mm. TERUG 0,0 2,6 5,0 7,7 10,1 12,9 15,2 17,7 20,3 23,1 25,5 28,4 31,1 33,8 36,7 Afwijking tOY begin-eind TERUG 0,00 -0,02 -0,24 -0,16 -0,39 -0,21 -0,53 -0,65 ~O,67 -0,49 -0,71 -0,44 -0,36 -0,28 0,00 Datum: 101088 Afwijking in ,001mm SEMIDDELD 0,00 2,50 5,05 7,65 10,15 ·12,85 15,35 17,65 20,30 23,10 25,50 28,45 31,10 33,85 36,75 . Afwijking tOY begin-eind SEMIDDELD 0,00 -0,13 -0,20 -0,22 -0,35 -0,27 -0,40 -0,72 -0,70 -0,52 -0,75 -0,43 -0,40 -0,27 0,00

(49)

3

2 -.

E

₁

... 0 0

_..

0

c

₀

.-C Q.> Q) C

.-.::L

_-1

'--"

.-

_~

...

0

-2

-3

o

ZEISS

VVM~v'1850 UC ALELO

Tr:X'y'

Meetinstr: Loser Dotum: 101 088

~ _.l::r --Itt ....I...

....

_...

200

....:S,. ..s o~

~

[ 9

-400

V-AS

~

tal ~ .;.1 ~ ~

r

600

,

i

,

r

800

(50)

ZEISS WMM850 Type meting: Tzy

Meetmiddel: laser EenheidJ 0.001 mm UCN ALMELO Meetpositie XI y: z: 300

°

450

Meetposities Aflezing laser Aflezing laser

langs in 0,001 mm. in 0,001 mm.

V-AS HEEN TERUG

0,53 0,0 0,0 50,56 0,3 0,2 100,43 0,7 0,9 150,42 1,3 1,6 200,63 1,7 1,9 250,83 2,0 2,2 300,50 2,1 2,4 350,55 2,7 2,9 400,92 3,0 3,3 450,24 3,4 4,0 500,79 3,7 3,7 550,78 4,8 4,5 600,80 4,4 4,4 650,59 4,4 4,2 700,48 5,7 5,6

Meetposities Afwi j~~ing Afwijking

langs _{in 0,001 mm.} _{in 0,001 mm.}

V-AS HEEN TERUG

0,53 0,0 0,0 50,56 0,3 0,2 100,43 0,7 0,9 150,42 1,3 1,6 200,63 1,7 1,9 250,83 2,0 2,2 300,50 2,1 2,4 350,55 2,7 2,9 400,92 3,0 3,3 450,24 3,4 4,0 500,79 3,7 3,7 550,78 4,8 4,5 600,80 4,4 4,4 650,59 4,4 4,2 700,48 5,7 5,6

Meetposities Afwijking Afwijking

langs tOY begin-eind tOY begin-eind

V-AS HEEN TERUG

(),53 _0,00 _0,00 50,56 -0,11 -0,20 100,43 -0,11 0,10 150,42 0,08 0,40 200,63 0,07 0,30 250,83 -0,04 0,20 300,50 -0,34 0,00 350,55 -0,15 0,10 400,92 -0,26 0,10 450,24 -0,26 0,40 500,79 -0,37 -0,30 550,78 0,32 0,10 600,80 "-0,49 -0,40 650,59 -0,89 -1,00 700,48 (1,00 0,00 Datum: 101088 Afwijking in ,001mm GEMIDDELD 0,00 0,25 0,80 1,45 1,80 2,10 2,25 2,80 3,15 3,70 3,70 4,65 4,40 4,30 5,65 Afwijking tOY begin-eind GEMIDDELD O,CIO -0,15 -0,01 0,24 0,19 0,08 -0,17 -0,02 -0,08 0,07 -0,34 0,21 -0,44 -0,95 0,00

(51)

3

2 .

E

₁

<r-0 0

_..

0

c

.-

0

C 11.:' (j)

c

:i:

_-1

:=-~

l+-e;

-2

-3

o

ZEISS

~~

--J

A

(''\

V

600

800

(52)

ZEISS WMM850 UCN ALMELO Type meting: Tzz Meetmiddel: laserint. Meetpositie XI yl z: 300 300

o

Eenheid: micrometers. Machine in mm. Z-AS HEEN 0,432 50,122 100,302 150,616 200,783 250,023 300,823 350,694 400,294 450,364 Machine in mm. Z-AS 0,432 50,122 100,302 150,616 200,783 250,023 300,823 350,694 400,294 450,364 TERUG Aflezing laser in mm. HEEN 0,4324 50,1229 100,3019 150,6179 200,7837 250,0237 300,8245 350,6961 400,2963 450,3654 Aflezing laser in mm. TERUG 0,4332 50,1237 100,3001 150,6135 200,7835 250,0242 300,8248 350,6955 400,2954 450,3656 Verschil in micrometers HE EN 0,4 0,9 -0,1 1,9 0,7 0,7 1,5 2,1 2,3 1,4 Verschil in microm. TERUG 1,2 1,7 -1,9 -2,5 0,5 1,2 1,8 1,5 1,4 1,6 Datum: 071088 . Temp.meting=20.6 C Gemiddelde in microm. HEEN-TERUG 0,8 1,3 -1,t) -0,3 0,6 1,0 1,7 1,8 1,8 1,5

(53)

3

2 .

(/) L IV

-'

IV

E

1 ~

U I

-E

c

0

I

-e

IV Q')

c

~

-1

'----.

'i

...

0

-2

-3

ZEISS

v\/M~/1

850 UCN

AL~~ELO

Tr: ZZ Meetirstr: Iqser. Dqtum :071 088

0 ~

/

V

_{\ /}

1~

P

/

\

_~

~

o

100

(

,

\

~

\

P':

/;

p7

VI

I

/

200 Z-AS

~

~/~

r~

~5

~/

300

400

500

(54)

Type meting: Txz Meetpositie x: 300

300 450 Meetmiddel; hoeKstuk-Zeiss y; Eenheid: 0.001 mm z: Meetposities Iangs Z-AS 0,43 50,12 100,30 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposi ties langs Z-AS 0,43 50,12 100,30 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 100,30 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Aflezing Zeiss in 0,001 mm. HEEN 0,0 0,0 0,0 0,0 0,0 1,0 1,0 2,0 1,0 1,0 Afwijking in 0,001 mm. HEEN 0,0 0,0 0,0 0,0 0,0 1,0 1,0 2,0 1,0 1,0 Afwijking tOY begin-eind HE EN 0,00 -0,11 -0,22 -0,33 -0,44 0,44 0,33 1,22 0,11 0,00 Aflezing Zeiss in 0,001 mm. TERUG 0,0 0,0 0,0 0,0 1,

°

1,0 1,0 2,0 1,0 0,0 Afwi jldng in 0,001 mm. TERUI3 0,0 0,0 0,0 0,0 1,0 1,0 1,0 2,0 1,0 0,0 Afwijking tov begin-eind TERUG 0,00 0,00 0,00 0,00 1,00 1,00 1,00 2,00 1,00 0,00 Datum: 101088 Afwijldng in ,001mm I3EMIDDELD 0,00 0,00 0,00 0,00 0,50 1,00 1,00 2,00 1,00 0,50 . Afwijking tOY begi n-eli nd

GEMIDDELD 0,00 -0,06 -0,11 -0,17 0,28 0,72 0,67 1,61 0,56 0,00

(55)

3

2

~

E

₁

..--0 0

..

0

c

₀

.-c

Q} Ci)

c

:.i:

_-1

:='

3: '+-0

-2

-3

o

ZEISS

\lV~~~J1850

UCN ALMELO

Tr:XZ

Meetinstr:hoekstuk Dqtum:1 01088

.

100 ~

~'

. /

.,/

200 Z-AS

+

A

~

- i

v

_~

~

300

400

500

(56)

Type meting: ~ Meetpositie XI

Meetmiddel: hoekstuk-Zeiss y: 300 300 450 Eenheid: 0.001 mm z: Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 1.00,30 150,61 200,78 ·250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 100,30 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Meetposities langs Z-AS 0,43 50,12 100,30 150,61 200,78 250,02 300,82 350,69 400,29 450,36 Aflezing Zeiss in 0,001 mm. HEEN 0,0 0,0 2,0 3,0 3,0 4,0 3,0 1,0 1,0 0,0 Afwijking in 0,001 mm. HEEN 0,0 0,0 2,0 3,0 3,0 4,0 3,0 1,0 1,0 0,0 Afwijking tOY begin-eind HEEN 0,00 0,00 2,00 3,00 3,00 4,00 3,00 1,00 1,00 0,00 Aflezing Zeiss in 0,001 mm. TERUI3 0,0 0,0 2,0 3,0 4,0 4,0 3,0 2,0 1,0 0,0 Afwijking in 0,001 mm. TERUI3 0,0 0,0 2,0 3,0 4,0 4,0 3,0 2,0 1,0 0,0 Afwijking tOY begin-eind TERUI3 0,00 0,00 2,00 3,00 4,00 4,00 3,00 2,00 1,00 0,00 Datum: 101088 Afwijking in ,001mm I3EMIDDELD 0,00 0,00 2,00 3,00 3,50 4,00 3,00 1,50 1,00 0,00 Afwijking tOY begin-eind I3EMIDDELD 0,00 0,00 2,00 3,00 3,50 4,00 3,00 1,50 1,00 0,00

(57)

5

4 .3

.

E

₂

E

"""""

0

₁

0

..

0

c

.-

0 c

U> C')

_-1

c

.-

_:::£. '--"

.-

_3=:

_-2

'+-OJ

-.3

-4

-5

o

ZEISS WMM850 UCN ALMELO

Tr:YZ

Meetinstr:hoeksh~k

Datum: 101088

/

"

(

100 p.

_~

200 Z-AS

~

.300

400

500

(58)

.kkoge 1 29 ,9884

•••••••••••••••

:E I CHNUNGS NR

RUEFER

liddelkamp

MESSPROTOKOLL .

ZEISS UMESS

AUFTRAGS NR .

1 I

LIEFERANT/KUNDE

1-

UCN

DATUM

20/10/88

TEIL-NR

4

I5P S/MIN/MAX

2 KUGEL A

I5P S/MIN/MAX

KUGEL A

I5P S/MIN/MAX

4 KUGEL A

I5P S/MIN/MAX

KUGEL A

x

V Z

o

x

y Z

o

x

V

Z

o

x

y Z

o

x

y

Z

o

457.'970 '7.8597 -272.'242 29.9890 0.0011 457.3970 37.8602 -272.'240 29.98815 0.0006 457.'9715 '7.8601 -272.'2'7 29.9880 0.0011 457. '9715 '7.8596 -272.3241

29.98815

0.0016 457.39715 37.8596 -272.3240

29.98815

0.0016 (2) -0.0006 (5) 0.0006 (2) -0.0003 (5) 0.0003 (2) -0.0006 (15) 0.0006 (2) -0.0008 (5) 0.0008 (2) -0.0008 (5) 0.0008

•••••••••• _ ••••.••••••• ___ ._ .••••••••.•••••.• _ .... ___ ••••••••••• _. __

.~_c.=

JERWENDBAR (

IBTEILUNG :

)

_{NACHARBEIT (}

₎

_{AUSSCHUSS (}

)

UNTERSCHRIFT :

, • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • _ _ • • • • • • • • • _ _ • • • • • _ _ _ _ _ a • • • _ _ _ • • • • • • • _ _ • • • • _ _ _ _ _

=

(59)

ing 17,00 mm

;

...

--

... .

CHNUNGS NR

lEFER

Ide

lkemp

MESSPROTOKOLL

ZEISS UMESS

AUFTRAGS NR

1

DATUM

20/10/88

I

LIEFERANT/KUNDE

'*

UCN

TEIL-NR

1

CNC-ABLAUF

I ARBEITSGAHG

I

Meetkamer

..

----.-_.

__

...

_--_

KREIS I

16.999

0.001 333.171,;

-70.629

17.000

0.001 333.171,;

-70.629

17.000

0.001 333.171,;

-70.629

16.999

0.001 333.1713

-70.629

16.999

(

-EILUNG :

)

HACHARBEIT (

)

AUSSCHUSS (

)

UNTERSCHRIFT :

a • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • _ • • • _ • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • _ _ _ • • • • • • _ _ _ • • : . _ _

(60)

,indmaat 4mm Z aa

...

---_.

~E

I CHNUNGS NR

'RUEFER

1i

dde 1 kemp

HESSPROTOKOLL

ZEISS UMESS

AUFTRAGS NR

1

DATUM

20/10/88

I LIEFERANT/KUNDE

1*

UCN

TEIL-NR.

1

CNC-ABLAUF

I ARBEITSGANG

I Meetkamer

, ... -... -... --... --... -_ ... _----.=

~DR 1

RKF' I AUFGABEI BEZ ISYI

ISTMASSI

NENNMASSI O.TOL I U.TOL I

ABW

UEB

:

...

-_

...

---

•...

1 FLAECHE

Z

-344.640

X/Z

Wl

0.000 Y/Z

W2

0.000

2 DREHEN RAUM

W

0.0000

3 NULL-P

Z

-344.640

4 PUNKT

Z

-0.000

S

NULL-P

Z

-0.000

6 PUNKT

Z

-4.000

"7

PUNKT

Z

-0.000

8 NULL-P

Z

-0.000

9

Z

-0.000

18 PUNKT

Z

-4.000

A !J.,6

L

Ift~

....

---._-

...

_---

...

_

..

--

...

__

... .

VER""ENDBAR (

~BTEILUNG

:

)

_{NACHARBEIT (}

₎

_{AUSSCHUSS (}

)

UNTERSCHRIFT :

.... _--_ .. _--... _ ... _ ... __ ... _ ... _._ ... ----_. __ ._ ... --=-==

.~

:1."·

•••

(61)

lndmeet 4mm'

ye.

s

_._--_

...

_.

::ICHNUNGS NR

<UEFER

lddelkamp

MESSPROTOKOLL

ZEISS UMESS

AUFTRAGS NR

1

DATUM

20/10/88

LJEFERANT/KUNDE

1* UCN

TEJL-NR

1

CNC-ABLAUF

ARBEITSGANG

Meetkarner = • • • • 8 • • • • • • • a • • • • • • • • • &_ • • • •

.

_ • • • • • _. ___ • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • _ • • • • • • • • • •

)RIRKF

1

AUFGABE1 BEZ ISYI

ISTMASSI

NENNMASSI a.TOLI U.TOL I

ABW

UEB

a= __ •• _ • •

== __ .=_=~=.=_=_g.

__ ••••••••••••...•. _

....

& s s . c • • • • • • • • • • • • • • • • 1

FLAECHE

Y 47.293

Z/Y

IAJl -0.0013 x/y W2 0.046 2

DREHEN RAUM

W 0.0466 ~

NULL-P

Y 47.293 4

PUt-IKT

y 0.001 S

NULL-P

Y 0.001 6"

PUNKT

Y 4.001 :7

PUNKT

Y 0.000

a

NULL-P

y _0.000 9

PUNKT

4.001 19

iddelkamp

MESSPROTOKOLL

AUFTR~GS':

NR

1

DATUM

20/10/88,

I I "

ZEISS UMESS

L~IEFERANT

/KUNDE"

ueN

CNC-ABLAUF

- r,

ARBE I TSGANG

1 Meetkamer

... -... -=

DRIRKF I AUFGABEI BEZ ISYI

ISTMASSI

NENNMASSI D.TOL I U.TOL

I

ABW

UEB

• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • c • •

1

FLAECHE

X

249.268 Y/X

1.111

-0.108

Z/X

W2

-0.002

2 ORE HEN RAUM

W

0.1079

NULL-P

X

249.268

4 PUNKT

X

-0.000

0.000 _{, f:, 'fo}

_t

_t..

_l?,"n,

18 PUNKT

X

4.000

• • • • • • • • • • • - - - • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • - - • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ • • • • • • s _ _

IERWENDBAR (

IBTEILUNG :

)

_{NACHARBEIT (}

₎

_{AUSSCHUSS (}

₎

UNTERSCHRll7T :

...

_--_

....

_-_

...•...

_

....•...

"

...

----_

.... .

(63)

Zeiss

WMM850

UCN Almelo

Type meting

Meetmiddel

Eenheid

Startpositie

Meetbereik

Linear. :

o

Laser

_{• gm}

X

= ..

~ ~t::>

mm

Xb= 750 mm

Reehth.:

o

Autocollim.

o

gsee

V

=

3.:>

0

mm

Vb= 750 mm

Kantel.:

o

Richtkijker

o

_{O.Olmm Z =}

o/::i'o

mm

Zb= 450 mm

Rotatie:

o

E1. waterpas

o

\lm/m

Haaksh. :

y ... z.

o

Op.waterpas

Datum:

lif - IC-1988

I

Tijd:

h

~---

---.---.---._---'2

GERADE

~</ Z '('1"2 9PS/M II..j/t1{:"\X 3 6 Pia GC 4

GERfi(JE

. ~ l' ~~. ,/ .

><,..'''{

8P S/M 11·l/t1A>< '5 2+ GERnuE

></2

. ~(' ;/2 6 S-Pln Gr; 7 GERFtDE Z.·/· .... >~/''t' llP S/t1 [ H/11~1>~ 8

GERAOE

~-~/::~ '{1''7 , L. 8P S/t1 I t'~/I'\f-1:< 9 S-P~<T

CG

:>-: "," \All 1</2 .~( .. , .'-bdl

..

~, .:.. .-,\ iAtl IJJ2 >< Y 1.>..11 1.12 V

.,

<-1.11 "7 .... :!< hl1 hJ2 ' . / /\ 'I'

WI

1:)2 'y' Z 1..11 208.911 -627. 109 (t •

OOU

...

[)

.

Oil?

l

O.

01)2 \ '2 ) 1).000 62:"". 191 ?C ~ SO;;' 90. lilH -,78.818 208.907

O .

005

- o.

000 O. 001

\ :z )

O.OU:] (J?) :208.911 -627.

,

..

09 O. 000 -, i.t • 00'3 -627.

101

·-7B.8e8 90. 001 -7"8.886 20:3.909 -0. 004

. n .

000 0.001 ( 9 ) 1.1.0110 :208.910 2'30'2. 1;,3 O. 000 O. 004

I

O.

002 I).Out) ( 1 ) 1""1""./ r) - . . . . J 4 " 138 -;"""18 .. "'::6:=: 91"1.001 n.ol'!';:

u.onl

(1.001 tJ • (I U'·;

(64)

Type

meting

Linear. :

Rechth. :

Kantel. :

Rotatie:

Haaksh.:J(

Y

1

-

" ". '( ,/;<

...

_,:< , .'

8P

s/n

I N/ f'1A>~ 2

GERliDE

Z/\$ >~.' , ".1 ,',., ' i

9P S/M

I N/I'1t~X 3

'S-PI<T

C(;; 1

GERAOE

\) /

>~

z/.x:

8P S/t11 N/ 11Ft>< 2 GER~1DE z/y X .,' \#' • 9P 5/f11 N/11HX

UCN Almelo

Keetmiddel

Eenheid

o

Laser

o

Autocollim.

g

g;sec

o

Richtkijker

o

O.Olmm

o

El. va t erpas

o

pm/m

o

Op. waterpas

Datum:/?

< "7 I.) 1 1.<12 ."" ~ -/9.010 - U8. 834 -0.060 -u.OOl 0.001 Z -138.852 ,\ .- '2 00:: • 4t (I l,Jl ·-0.000 t.>J'2 0.000 0.001

>:

··209.542 Y -78.796 Wl 90.000

•

Y 450.290 :: -lt~2.674 L.Jl • I). 0'?9

!,I::

..

IJ • I) U 1 0.001 Z -142.660 >< ~-411 .. '22 .. 7 hJl -0.000 bJ2 0.1)159 0.001

Startpositie

Meetbereik

X

=-'DO

mm

Xb= 750

JllIlI Y=3..::>~

mm

Yb= 750 mm

Z

=

~1""/)

mm

Zb= 450 mm

-I.(;, -198 8

I

Tijd:

h ( )' J 1).000 t. l ' t) • (I U :J U.IJUlI l.8 j II. 0 I.i (I

Df~ TUM:

w-

1'1~lI1E :

TEIL-NR:

O.Uti!

1).00-':

O. (lil''-'

AORIRKF I AUFGABE I BEZ ISYI

I STMASSl NEHNr lnSS I O. TOL I U. TOL I (1f:'!l.d

S-PKT GG

x

-410.784

Y 430.716

hil 90.001

-

.", U';;;;· r .. ~.